판매용 중고 TOPCON Vi-4202 #293617669

TOPCON Vi-4202는 강력한 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 제조 프로세스 전반에 걸쳐 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 특정 기술 또는 훈련 없이 석판 마스크 (lithographic mask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 패턴 영역 및 패턴화되지 않은 영역을 고해상도 검사할 수 있습니다. 이 기계는 양성 (positive) 마스크와 음수 (negative) 마스크를 모두 검사하도록 설계되었으며, 품질 관리 프로세스 (quality control process) 에 대한 전례없는 제어 수준을 사용자에게 제공합니다. Vi-4202 는 고급 옵티컬 유닛 (Optical Unit) 으로, 최대 100nm 의 초고해상도로 마스크 및 웨이퍼로부터 데이터를 캡처할 수 있습니다. "머신 '은" 마스크' 나 "웨이퍼 '의 어느 부위 에서든 자유 로이 이동 하고" 데이터' 를 캡처 할 수 있는 명백 한 구조 를 사용 한다. 또한 완전하게 자동화된 멀티 포인트 보정 툴 (multi-point calibration tool) 을 통해 데이터가 항상 최고 품질의 데이터를 얻을 수 있습니다. 이 에셋에는 고급 소프트웨어 (advanced software) 도 장착되어 있어 결함 위치, 특성화와 같은 일상적인 작업을 자동화할 수 있습니다. 이 모델은 또한 다양한 이미징 및 측정 도구를 제공합니다. 워퍼의 석판화 마스크 패턴 (lithographic mask pattern) 과 패턴이 아닌 영역 (non-patterned area) 을 모두 측정 할 수있는 새로운 다중 조명 장비를 사용합니다. 이 시스템에는 또한 검사 결과를 최적화하기 위해 이미지의 초점, 대비, 밝기를 조정하는 고유한 이미지 수정 장치 (focus correction unit) 가 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 패턴 일치 및 정렬, 결함 위치, 결함 분류, 결함 검토, 데이터 스토리지, 보고, 오류 확인 기능 등 다양한 다른 기능이 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 신속하고 정확한 결함 감지, 분석, 정렬을 수행할 수 있으므로 품질 관리 (quality control) 를 높일 수 있습니다. 또한 TOPCON Vi-4202 소프트웨어는 사용자가 3차원 패턴으로 시스템의 장애 데이터를 볼 수 있도록 하는 고급 그래픽 보조 (graphical aid) 를 제공합니다. 이 기능을 사용하면 결함 패턴을 빠르게 시각화하고 식별할 수 있습니다. 전반적으로 Vi-4202는 강력하고 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 그것 은 "마스크 '와" 웨이퍼' 를 신속 하고 정확 하고 포괄적 으로 검사 할 수 있게 해 주며, 이것 은 석판 "마스크 '를 제조 하는 데 가치 있는 도구 이다.