판매용 중고 TOPCON VI-3200 #9352187

TOPCON VI-3200
ID: 9352187
Visual inspection system.
TOPCON VI-3200 (TOPCON VI-3200) 은 마스크와 웨이퍼에 결함 및 오염이 있는지 정확하게 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 정확한 결함 인식 (Defect Recognition) 및 수율 예측의 기초가 되는 최첨단 가시/적외선 이미징 기술을 사용합니다. 이 장치에는 여러 가지 유형의 카메라가 장착되어 있는데, 이 카메라는 최적의 이미지 (best image) 를 제공하기 위해 최적화될 수 있습니다. 적외선 "카메라 '를 사용 하여 가장 작은 결함 까지도 발견 할 수 있으며, 가시" 카메라' 는 더 큰 결함 을 식별 하도록 설계 되었다. 두 카메라 모두 전동 렌즈 체인저 (Motorized Lens Changer) 를 갖추고 초점 거리 조정을 용이하게 하여 최적의 선명도 (Sharpness) 이미지를 제공합니다. 이 기계에는 epi-illuminator, UV 및 IR illuminator 및 LED 백라이트 표면 조명기를 포함한 다양한 광원이 장착되어 있습니다. 또한, 도구는 11 축 로봇 샘플 회전을 사용하여 각 마스크, 다이 및 웨이퍼의 직경, 모서리 및 각도를 정확하게 측정 할 수 있습니다. VI-3200 은 사용자 친화적인 터치스크린 인터페이스를 통해 운영자가 최소한의 교육 (training) 을 통해 자산의 모든 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 강력한 소프트웨어 패키지를 통해 캡처된 이미지를 편리하게 조작할 수 있으며, 색상 균형 조정, 명암비 조정, 다양한 전용 데이터 분석 도구 (예: 박스, 히스토그램, 3D 분석) 를 사용할 수 있습니다. 또한 사용자는 JPEG, TIFF, PNG, TIF 등 다양한 표준 형식으로 데이터를 저장할 수 있으며, 원격 제어, 온라인 도움말, 보안 데이터 전송 등의 추가 네트워크 관련 도구에 연결할 수 있습니다. 이 장비는 생산량을 늘리고, 비용을 절감하고, 고객에게 최고의 품질의 제품을 제공하고자 하는 제조업체에 이상적인 도구입니다.
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