판매용 중고 TOKYO AIRCRAFT MEASUREMENT MAC-92 #293587749

TOKYO AIRCRAFT MEASUREMENT MAC-92 (T.A.M. MAC-92) 는 반도체 제작에 필요한 엄격한 포토 마스크 및 웨이퍼 임계 치수 (CD) 측정 및 검사 요구 사항을 충족하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. T.A.M. 도쿄 항공기 측정 MAC-92 (TOKYO AIRCRAFT MEASUREMENT MAC-92) 는 초고속, 정확도, 비 접촉 스캔 현미경으로 미크론 스케일 수준의 해상도를 제공 할 수 있습니다. FESEM (Field-Emission Scanning Electron Microscopy) 과 레이저 공백 현미경을 결합한 밝은 필드 이미징 시스템을 사용하여 패턴 샘플을 빠르고 정확하게 측정 및 검사 할 수 있습니다. 가변 스캔 크기 (variable scan size) 와 스캔 속도 (scan speed) 가 있는 고감도 4 채널 (high-sensitivity 4-channel detector) 을 사용하는 등 성능 및 정확도를 향상시키는 여러 옵션으로 장치를 구성할 수 있습니다. 검출기는 또한 특수 고감도 함수를 포함하며, 이는 소규모 패턴을 정확하게 측정합니다. 또한이 기계에는 최소 변위로 높은 정확도 스테이지 동작을 가능하게하는 2 채널 레이저 간섭계 (microdisplacement) 단계가 포함됩니다. T.A.M. MAC-92는 결함 미니어처 마스크 결함 또는 웨이퍼 반도체 레이어에 대한 고급 패턴 검사 기능을 제공합니다. 최대 4개의 사용자 정의 결함 유형을 정의할 수 있는 [패턴 관리자] 옵션을 사용할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 광학 (optical) 또는 전자 빔 이미징 (electron beam imaging) 을 사용하여 다양한 마스크 레이어의 패턴을 분석 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 다양한 피상적 및 초저층 계층에 대한 고급 마스크 및 웨이퍼 결함 감지 기능을 제공합니다. 이 모델은 사용자 친화적이며 작동하기 쉽도록 설계되었습니다. 모든 주요 매개변수와 설정을 표시하는 GUI (Graphical User Interface) 가 포함된 터치 스크린 패널을 통해 운영 및 유지 관리의 효율을 높일 수 있습니다. 자동 교정 프로세스는 시스템의 정확성을 보장하기 위해 장비에 내장되어 있습니다. T.A.M. 도쿄 항공기 측정 MAC-92는 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 완벽한 선택입니다. 미크론 스케일 (micron-scale) 에서 정확하고, 반복 가능하며, 빠른 측정이 가능하며, 반도체 제작에서 정확성과 품질을 보장하는 가장 안정적이고 안정적인 수단을 제공합니다.