판매용 중고 TKK MAC-92MV1 #9227386
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TKK MAC-92MV1은 반도체 생산에 사용하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최대 측면 해상도 0.08 미크론의 웨이퍼 레벨 측정을 만들 수 있으며, 고해상도, 어두운 필드, 밝은 필드, RGB 등 다양한 이미징 모드를 지원합니다. "자동 이미지 등록 (Automated Image Registration)" 기능을 갖춘 시스템은 마스크 피쳐를 배치하여 이미지를 캡처하고 정렬하여 검사 프로세스에 높은 정확성과 반복 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 임계 값 민감도 (threshold-sensitivity) 기능을 사용하여 사용자가 패턴 인식 및 반응 수준을 제어 할 수 있습니다. MAC-92MV1에는 고급 옵틱 및 디지털 신호 처리가 장착되어 있습니다. Nikkor 렌즈, 디지털 카메라 및 선형 CCD 센서는 탁월한 감도, 선명도 및 정확도로 4.8um의 이미징 해상도를 제공합니다. 이 기계는 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 알고리즘을 사용하여 결함 감지 및 분류 기능을 식별하고 분석합니다. 사용자 친화적인 터치스크린 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 는 작업을 단순화하고 다양한 측정 및 디스플레이 기능을 제공합니다. 이 도구는 검사 결과, 피쳐 이미지, 레티클의 디지털 이미지 (digital image) 를 저장할 수 있으므로 사용자가 감지된 결함을 신속하게 검토하고 반응 할 수 있습니다. 에셋은 또한 위쪽 또는 아래쪽 레이어에서 요소를 선택할 수 있는 기능으로 이중 레이어 검사 (dual-layer inspection) 에 적합합니다. TKK MAC-92MV1은 기존 웨이퍼 검사 시스템보다 더 많은 기능을 제공합니다. 와이어 브리지 (wire-bridges), 입자 오염 (particle contamination) 과 같은 복잡한 결함을 처리하도록 설계되었으며, 포토 마스크 생산 과정의 각 단계를 지원할 수있는 포괄적 인 플랫폼을 제공합니다. 이 모델을 통해 운영자는 마스크 (mask) 생산 프로세스의 품질을 즉시 모니터링할 수 있으며, 인건비 절감, 다운타임 최소화에 사용될 수 있습니다.
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