판매용 중고 THERMAL WAVE IMAGING EchoTherm #9275494

THERMAL WAVE IMAGING (TWI) THERMAL WAVE IMAGING ECHoTherm은 적외선 열 이미징 기술을 사용하여 반도체 장치의 결함을 정확하게 분석하고 식별하는 고급, 완전 자동화 된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 프레임 속도가 1초 미만인 경우, EchoTherm은 (는) 품질이 손상되지 않고 포괄적인 결함 감지 기능을 제공합니다. 첨단 이미징 기술은 전방향 적외선 탐지기 어레이 (omni-directional infrared detector array) 와 다중 스펙트럼 카메라 (multi-spectral camera) 를 특징으로하며, 이를 통해 표면 온도를 정확하게 측정하고 반도체 회로 패턴의 결함을 신속하게 감지 할 수 있습니다. THERMAL WAVE IMAGING ECHoTherm은 웨이퍼 제작 프로세스에 사용하도록 설계되었으며 검사 결과를 빠르고 정확하게 생성 할 수 있습니다. 독특한 THERMAL WAVE IMAGING 기술을 통해 웨이퍼의 서브 미크론 직경 (sub-micron-diameter) 기능의 온도 차이를 식별 할 수 있습니다. 그런 다음 높은 확대 현미경으로 분석하여 결함을 식별할 수 있습니다. 이 시스템은 10 미크론 정도의 작은 결함을 감지할 수 있으며, 직경 150mm까지의 웨이퍼를 스캔할 수 있습니다. EchoTherm은 (는) 결과의 신뢰성을 보장하기 위해 결함을 자동으로 감지하고 보고할 수 있는 정교한 소프트웨어 패키지를 사용합니다. 또한, 다양한 고급 툴을 통해 상세한 결함 이미지 (이미지) 를 제공하고, 결함의 크기와 심각도를 정확하게 추정하고, 자동 분류/검증 기능을 제공합니다. 열 파동 이미징 (THERMAL WAVE IMAGING) EchoTherm은 고해상도 열 이미징 및 결함 분석을 제공하여 작은 결함을 정확하고 빠르게 감지하고 빠르고 안정적인 검사 프로세스를 지원합니다. 장치 작동을 최적화하기 위해 EchoTherm (EchoTherm) 은 통합 센터 머신 (Integrated Centering Machine) 과 같은 다양한 옵션으로 사용자 정의하여 정확한 스캔 정렬과 원활한 장치 액세스를 위한 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 을 설정할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 환경 인터페이스 (Environment Interface) 와 외부 시스템과의 통신을 위한 다양한 인터페이스 (Interface) 를 갖추고 있습니다. 전반적으로, THERMAL WAVE IMAGING EchoTherm은 반도체 장치의 결함을 빠르고, 정확하고, 신뢰할 수있는 이상적인 솔루션입니다. 열파 이미징 (THERMAL WAVE IMAGING) 기술은 빠르고 정확한 분석이 가능한 결함에 대한 고해상도 뷰를 제공하는 반면, 정교한 소프트웨어 툴은 자동화된 분류 및 의사 결정을 가능하게 합니다. 고객이 EchoTherm 을 활용하여 거부율 (Reject Rate) 감소 및 수익률 향상, 보다 효율적이고 안정적인 생산 프로세스 구축 등을 경험할 수 있습니다.