판매용 중고 TAYLOR HOBSON TalySurf Series 10 #9003688
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TAYLOR HOBSON TalySurf Series 10은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로 다양한 박막 및 광학 장치 응용 프로그램에 대한 정확한 도량형 측정이 가능합니다. TalySurf Series 10은 자동화된 비 접촉 고해상도 표면 도량형을 위해 설계되었습니다. 전용 옵틱 (Optic), 소프트웨어 (Software) 및 통합형 하드웨어 기능을 통해 까다로운 표면 분석 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다. Series 10은 특허를받은 이미징 기술과 레이저 회절 간섭법, 다각도 레이저 프로파일로미터, 피조 간섭법 (Fizeau interferometry) 및 반음계 정렬의 조합을 사용하여 다양한 모양, 크기 및 재료의 기능을 가장 잘 측정합니다. 이 시스템에는 부드러운 동작과 높은 해상도의 미크론 정밀도로 X 및 Y 축을 이동하도록 설계된 LVDT (Linear Variable Differential Transformer) 와 사용자 정의 XY 스테이지가 장착되어 있습니다. 내장 VOS (Video Optics Unit) 는 샘플의 확대된 이미지를 제공하고 검사하는 동안 컴포넌트의 정확한 정렬을 용이하게 하는 데 사용됩니다. 시리즈 10 (Series 10) 은 다중 계층 표면 검사를 수행 할 수 있으며, 비아 (Via), 마이크로 범프 (Microbumps), MEMS 및 기타 광학 장치와 같은 마스크 정렬 구조뿐만 아니라 반도체 웨이퍼의 표면 레이어를 효율적으로 측정 할 수 있습니다. 스텝 높이 (Step Height), 평면도 (Flatness), 형태 (Form), 거칠기 (Roughness), 균주 (Strains), 변형 (Deformation) 및 기타 서피스 특성을 포함한 물리적 및 광학적 피쳐를 모두 측정하고 분석할 수 있습니다. 이 기계는 또한 스캐닝 프로브 현미경 (SPM), 다양한 이미징 기술, 분광학 및 고급 이미지 처리를 포함한 다양한 분석 방법을 제공합니다. Series 10 소프트웨어는 다양한 데이터 분석 툴과 데이터 관리 기능을 제공합니다. 이 도구는 다른 방향으로 만들어진 여러 측정에서 3D (3D) 이미지를 생성할 수 있으며, 분석 인터페이스를 통해 여러 측정 결과에 걸쳐 결과를 비교, 분석, 모니터링하고 차이를 볼 수 있습니다. 결론적으로 TAYLOR HOBSON TalySurf Series 10은 마스크 및 웨이퍼 검사 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 고급 자산으로, 다양한 박막 및 광학 장치 구성 요소의 정확하고 정확한 측정을 제공합니다. 이 모델에는 특허를 획득한 이미징 기술, 전용 옵틱 (Optic), 강력한 소프트웨어 (Software) 가 장착되어 있어 고해상도로 물리적/광학 기능을 정확하게 측정하고 분석할 수 있습니다.
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