판매용 중고 TAYLOR HOBSON TalySurf S5 #9012788
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ID: 9012788
Roughness measurement system
Specifications:
Traverse length: 4.72 inch
Straightness of Traverse: Contained within 2 parallel lines spaced 0.5 μm over 4.72 inches traverse, and over any 2.36 traverse
Traverse Speed:
Run up distance required: 0.3 mm max
Measurement speed: 1.0 and 0.5 ,,/sec
Reverse speed 5mm/sec max
Set-up speed: 0.5, 1.0, 2.5, 5.0, 10 mm/sec
Traverse end stops: fixed optical switches
Pick up details
Laser interferometric transducer: Helium/neon laser 632.8 nm
Gauge range: 0.039 inches
Gauges resolution 10 nm with 6mm range
Skid force 70-100 mgf
Analysis:
Form removal: None, Datum, LS, line, MZ line, LS Arc
Form Parameters: Slope (LS line, MZ line) Radius (LS Arc)
Motorized Column & Epoxy Granite Base
Carriage traverse speeds: 0.5, 1.0, 2.5, 5.0, 10 mm/sec
Angular rotation of carriage: 15, 25, 40 min/sec
TAYLOR HOBSON TalySurf S5는 매우 정밀한 표면 도량형 및 검사를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 3 차원에서 표면의 절대 형태를 정확하게 정량화하는 데 사용될 수있는 비 접촉, 비 파괴 기술입니다. TalySurf S5에는 다양한 기능이 있어 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 스캐닝 속도가 최대 0.1 ½ m/s 인 넓은 접촉 면적을 특징으로하여, 빠른 측정 데이터 획득이 가능합니다. 광학은 높은 공간 해상도 (패치의 크기는 4 ½ m까지 측정 가능) 를 제공하며, 운영자에게 초점, N.A., 조명 등을 조정하는 기능을 제공합니다. 또한 이 소프트웨어는 특정 사용자 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 즉, 운영자가 특정 애플리케이션에 대해 고유한 알고리즘과 데이터 처리 기술을 활용할 수 있습니다. TAYLOR HOBSON TalySurf S5는 간섭 기법을 사용하여 표면을 3 차원으로 측정합니다. 이 소프트웨어는 프로파일, 단면도, tiff 이미지, 컨투어 등 다양한 출력 형식을 제공합니다. 파도 (waviness) 와 거칠기 (roughness) 를 포함한 다양한 통계적 표면 매개변수가 포함되어 있으며, 로컬 및 글로벌 서피스 패턴을 식별할 수 있습니다. TalySurf S5는 수동 검사 기술에 비해 다양한 이점을 제공합니다. 이는 인적 운영자 효과를 없애고, 측정 시 오류의 위험을 줄이고, 반복성 (repositivility) 과 재현성 (reproducability) 을 높여줍니다. 그뿐 아니라, "콘택트 '가 넓고" 스캔' 속도 가 빠르므로 수동 기법 보다 더 효율적 이며 비교적 짧은 기간 에 넓은 지역 을 측정 할 수 있다. 전반적으로 TAYLOR HOBSON TalySurf S5는 높은 정확도, 뛰어난 반복성 및 재생성이 필요한 표면 도량형 및 검사 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 넓은 접촉 면적, 조정 가능한 광학, 소프트웨어 커스터마이징, 높은 공간 해상도, 빠른 스캔 속도를 통해 표면 도량형 및 검사를위한 귀중한 도구입니다.
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