판매용 중고 TAYLOR HOBSON TalySurf PGI 1240 #9395005

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ID: 9395005
빈티지: 2004
Surface roughness contour shape measuring system 2004 vintage.
TAYLOR HOBSON TalySurf PGI 1240은 웨이퍼 및 마스크의 광학 정밀도 및 결함 특성을 제공하도록 설계된 다용도 Mask 및 Wafer Inspection 장비입니다. 이 시스템은 6축 동력 스테이지와 높은 정확도의 세이코 (Seiko) 광학 기기를 통합하여 결함 및 표면 특성을 정의하기위한 산업 표준을 초과합니다. PGI 1240은 넓은 시야, 고속 및 고해상도 스캐너 (scanner) 를 제공하여 손쉬운 결함 감지 기능을 제공합니다. 이 장치는 임계 치수 측정과 자동화된 프로세스 제어를 위해 최대 12äm 성능을 제공합니다. 세이코 (Seiko) 기계와 결합 된 6 축 모터 화 단계는 마이크로 일렉트로닉스 산업의 발전 기술을 해결하기 위해 빠르고, 정확하며, 반복 가능합니다. PGI 1240의 고급 이미징 기능을 사용하면 신호 대 잡음비 (signal-to-noise ratio) 에서 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기능은 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 알고리즘을 통해 지원되며, 이 툴을 통해 결함 정보를 단기간에 효율적으로 식별하고 처리할 수 있습니다. 통합 된 모터 스테이지 구조는 실내에서 빠르고 정밀한 모션을 가능하게하며, 에셋은 시간당 최대 8200 개 사이트 (site) 의 전체 표면을 검사 할 수 있습니다. TalySurf PGI 1240은 높은 수준의 프로세스 제어 및 자동화를 갖춘 직관적인 대화식 소프트웨어 인터페이스 (Interactive Software Interface) 를 갖추고 있습니다. 사용자에게 친숙한 이 GUI는 대화형 3D 상태 보고서 (Interactive 3D Status Report) 창을 통해 그래픽으로 선명하고 직관적인 프로세스를 제공하여 전체 프로덕션 실행에 대한 모델을 효과적으로 제어하고 모니터링합니다. 피드백 및 보고서 창에서는 특정 결함 위치를 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 디지털 규제 옵션 덕분에 높은 수준의 프로세스 보안 (Process Security) 기능을 제공합니다. wafer thickness, flatness, mask inspection, 결함 확인 등 다양한 자동 측정 및 검사 기능이 PGI 1240에서 지원됩니다. 이를 통해 사용자는 반사도, 치수, 지형, 광도 및 형태 측정을 통해 완벽한 결함 분석을 수행할 수 있습니다. TAYLOR HOBSON TalySurf PGI 1240은 정확하고 반복 가능한 정밀 결함 특성 분석을 제공하기 위해 설계된 광학 정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 6축 동력 (6축) 스테이지는 광시야에서 빠르고 정확한 동작을 가능하게 하며, 시스템의 고급 이미징 기능을 통해 고해상도 (high resolution) 및 신호-소음 (signal-to-noise) 성능을 제공합니다. 직관적이고 대화형 (Interactive) GUI는 다양한 자동 측정 및 검사 기능을 통해 높은 수준의 프로세스 제어 및 자동화 (Automation) 기능을 제공하여 사용자에게 완벽한 결함 분석을 제공합니다.
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