판매용 중고 TAYLOR HOBSON TalySurf i-Series #9233424
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ID: 9233424
Automated surface and contour inspection system
5mm 120mm
Frame
Desk
Granite
(2) Stylis
Surface roughness
Gauge range: Up to 5 mm
Resolution: Down to 0.4 nm
Roughness:
Noise: Less than 6 nm Rq
Contour:
LS Arc measurement: < 3.3 μm
Pt < 0.25 μm.
TAYLOR HOBSON TalySurf i-Series 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 마스크 및 웨이퍼를 자동으로 검사하는 데 매우 효율적이고 정교한 솔루션입니다. 다각도 이미징을 수행하는 다각도 검사 시스템 (Multi-Sensor Inspection System) 으로, 마스크와 웨이퍼를 만드는 과정에서 결함을 감지하고 수정할 수 있습니다. i-Series는 "스마트" 광학 장치, 향상된 패턴 인식 기능, 직관적이고 사용하기 쉬운 검사 인터페이스 등 여러 기술 혁신을 통합했습니다. TalySurf i-Series는 강력한 줌 렌즈와 고해상도 CCD 카메라를 갖추고 있어 마스크 및 웨이퍼 표면을 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. "스마트 (smart)" 광학 머신을 사용하면 넓은 시야에서 미리 설정된 검사점을 빠르게 선택하여 마스크 및 웨이퍼 패턴을 쉽게 탐색할 수 있습니다. 이는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 디자인의 복잡성으로 인해 기존의 검사 기술을 피할 수없는 결함을 감지합니다. i-시리즈에는 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 결함 및 청소 영역을 구분하기 위해 알고리즘을 사용하는 고급 패턴 인식 (Pattern Recognition) 기능이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 정확도가 향상되고 빠르고 신뢰할 수 있는 결과가 생성됩니다. 또한 i-시리즈 (i-Series) 는 대규모 패턴을 통계적으로 분석하고 작은 지역 결함을 추적할 수 있는 모니터링/분석 도구를 제공합니다. 또한 i-Series 에는 단순하면서도 직관적인 사용자 인터페이스가 있으며, 사용자의 보기 영역을 따르는 대화형 "눈 보기 (seeing eye)" 커서와 같은 기능이 있습니다. 이렇게 하면 복잡한 마스크와 웨이퍼 패턴을 빠르고 정확하게 탐색할 수 있습니다. 이 도구는 또한 강력한 보고 기능으로, 사용자가 검사 결과를 쉽게 문서화할 수 있습니다. TAYLOR HOBSON TalySurf i-Series 마스크 및 웨이퍼 검사 에셋은 마스크 및 웨이퍼에 대한 매우 정확한 광학 검사를 제공하며, 제조 과정에서 결함을 감지하고 수정하는 기능을 제공합니다. 정교한 "스마트" 옵틱 모델, 고급 패턴 인식 (Pattern Recognition) 기능 및 직관적인 사용자 인터페이스가 결합하여 i-Series를 반도체 산업을위한 강력한 검사 도구로 만들었습니다.
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