판매용 중고 TAYLOR HOBSON TalySurf CCI 9150 #9168261
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9168261
Non-contact 3D profiler
Vertical resolution: 0.1Å (0.01 nm)
Measurement noise: 0.2Å (0.02 nm)
Data points as standard: >1,000,000
Single measurement mode of operation
RMS Repeatability: 0.03Å (0.003 nm)
Measurement technique:
Coherence correlation Interferometry
Vertical range (Z): 100μm
Vertical resolution: 0.01nm [0.1Å]
Noise floor (Z): 0.02nm [0.2Å] 1
Repeatability surface RMS (Z): 0.003nm [0.03Å]2
Measurement area (X, Y):
0.25mm - 7.0mm (square area)
1024 x 1024 standard measurement points
Optical resolution (X, Y): 0.4 - 0.6μm
Step height repeatability: 0.05nm (25 nm step) / 0.1%
Linearity (Z): 0.03% of measured value
Surface reflectivity: 0.3% - 100%
Measurement time: 5-20 seconds.
TAYLOR HOBSON TalySurf CCI 9150은 반도체 업계를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 비접촉식 (non-contact) 광학 프로파일로메트리 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼를 빠르고 정확하게 측정 및 분석 할 수 있습니다. 이 시스템에는 특허를 받은 다이내믹 포커싱 장치 (dynamic focusing unit) 가 장착되어 있으며, 0.5 ~ 500mm 범위의 측정이 가능하므로 다양한 크기의 웨이퍼에 적합합니다. CCI 9150 은 1.5nm 의 저소음 기능과 0.05um 의 고해상도 (high resolution) 옵션을 통해 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 머신은 또한 한 번의 패스로 여러 웨이퍼에서 데이터를 수집할 수 있는 데이터 수집 (automated data collection) 을 통해 각 웨이퍼를 검사하는 데 필요한 시간을 줄일 수 있습니다. 고급 이미징 기술을 사용하여이 도구는 마스터 웨이퍼 평면도 (master wafer flatness), 스텝 높이 (step height), 수율 (yields) 및 기타 변수를 분석할 수 있습니다. 이는 웨이퍼의 정확도를 향상시키고, 반복 가능한 안정적인 측정값을 제공하는 데 도움이됩니다. Talysuf CCI 9150은 웨이퍼의 효율적인 측정 및 분석을 제공하여 생산 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 즉, 운영 팀과 무선으로 공유하거나, 원격으로 액세스하여 검토할 수 있는 데이터를 제공합니다. 자동 기능 비교 (Automatic Feature comparison) 는 생산 후 제품의 차이점을 파악하는 데 도움이 되며, 출하되기 전에 결함을 감지하여 귀중한 시간을 절약합니다. 이 자산은 수동 측정, 다중 계층 웨이퍼 매핑, 데이터 분석 등의 다른 작업을 위해 설계되었습니다. CCI 9150 은 고급 소프트웨어 (advanced software) 기능을 사용하여 기존 방식보다 정확성과 결과가 더 나은 웨이퍼를 더욱 분석할 수 있습니다. 전반적으로 TalySurf CCI 9150은 웨이퍼를 생산하고 분석하는 데 이상적인 도구입니다. 최첨단 광 프로파일로메트리 (optical profilometry) 기술을 사용하여 CCI 9150은 안정적이고 정확한 웨이퍼 측정 및 분석을 제공 할 수 있습니다. 이 모델의 자동화된 기능과 데이터 수집 (Data Collection) 기능은 운영 비용을 절감하는 한편, 안정적이고 반복적으로 Wafer 를 측정하고 모니터링할 수 있는 방법을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다