판매용 중고 TAYLOR HOBSON TalySurf 120 #9099036
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ID: 9099036
Stylus profiler
Traverse unit
Motorized column attached to an epoxy granite base
Computer interface module
Software: Ultra K510-1036-02 (version 6)
Inductive gauge unit with interchangeable styli
Interface and control modules.
Windows-based measurement/analysis software
Traverse length 120 mm
Straightness of traverse: 1.0 micron over 120 mm range
Traverse speeds 1.0 mm / sec and 0.5 mm/sec (+/- 5%)
Column traverse 450 mm
Stylus range 6 mm range
Stylus tip radius 1.5 - 2.5 micron
Stylus force over full range 0.7 - 1.0 mN.
TAYLOR HOBSON TalySurf 120은 완전히 자동화 된 마스크 검사 및 웨이퍼 도량형 시스템입니다. 이 시스템은 이중 4 축 헤드 구성으로 설계되어 저항 코팅 마스크 및 웨이퍼를 효율적이고, 정확하며, 반복 할 수 있습니다. 효율성이 높으며 시간당 최대 40 개의 마스크와 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. TalySurf 120은 이미징 및 검사를 위해 고해상도 5 메가 픽셀 (MP) 카메라를 사용합니다. 마스크 (Mask) 의 기능 뿐만 아니라 검사 품질 (Inspection Quality) 의 웨이퍼 (Wafer) 의 결함도 측정할 수 있습니다. 카메라는 고급 자동 초점 (auto-focus) 기술을 사용하여 극도의 정확도와 속도로 이미지를 캡처합니다. 독특한 알고리즘을 사용하여 패턴 모서리, 선 너비 등의 서피스 피쳐를 검색, 분석, 비교합니다. 또한 TAYLOR HOBSON TalySurf 120은 프로세스 제어 편차를 측정하는 데 중요한 선 너비, 스텝 높이, 입자 밀도 등 웨이퍼 기능을 측정 할 수 있습니다. 0.05 미크론의 정확도로 서브 미크론 기능을 캡처하고 고정밀 측정을 수행 할 수 있습니다. 또한 개별화 된 검사 프로세스를 허용하는 사용자 정의 검사 레시피를 로드하고 실행할 수 있습니다 (영문). TalySurf 120에는 고급 보고 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 각 기능에 대한 자세한 설명이 포함된 라이브 이미지 디스플레이가 포함됩니다. 또한 그래프, 차트, 비준수 영역 목록 등, 수행되는 각 검사에 대한 자세한 통계 정보도 제공됩니다. TAYLOR HOBSON TalySurf 120의 소프트웨어는 Microsoft Windows XP에서 설계되었으며 사용하기 쉽습니다. 기본 작업과 검사 레시피를 만들기위한 사용자 친화적 인 자습서가 있습니다. 또한 자세한 결과로 자동 보고서를 생성할 수 있으며 보고서를 다른 형식 (예: PDF 또는 HTML) 으로 내보낼 수도 있습니다. 탈리서프 120 (TalySurf 120) 은 마스크 및 웨이퍼를 검사하고 측정할 수 있는 다양한 기능을 갖춘 강력하고 효율적인 시스템입니다. 정교한 이미징 기능, 고급 소프트웨어 (Advanced Software), 보고 툴을 통해 빠르고 정확한 마스크 (Mask) 또는 웨이퍼 (Wafer) 검사를 필요로 하는 기업을 위한 완벽한 툴입니다.
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