판매용 중고 TAMARACK 152 #9268492

TAMARACK 152
ID: 9268492
웨이퍼 크기: 6"
Mask aligner, 6" Resolution: 1 Micron Power supply: 500 Watt.
타마 락 (TAMARACK) 152 (TAMARACK) 는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 마스크 및 웨이퍼 결함을 검사하기 위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 레이저 튜닝 가능한 3D 이미징 장치 및 프로세스 자동화를 사용하여 결함을 빠르고 정확하게 감지합니다. 기계는 기판의 3D 표현을 만들기 위해 마스크 및 웨이퍼 재료의 파장에 맞춰 튜닝 된 저전력 NIR (Near-Infrared) 레이저 빔 (beam) 배열을 방출함으로써 작동합니다. 이 3D 표현 (3D representation) 에서 공구는 기판 표면에 있을 수 있는 모든 결함 및 이상을 감지할 수 있습니다. 이 자산에는 내장 비전 모델 (Vision Model) 이 내장되어 있으며, 맨눈으로는 쉽게 볼 수 없는 비정상적인 기능을 식별할 수 있습니다. 152 개의 장비는 또한 마스크 및 웨이퍼에 존재할 수있는 입자, 입자-입자-입자 또는 입자-표면 유형 결함을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 고급 프로세스 제어 장치 (Advanced Process Control Unit) 를 장착하여, 결함이 빠르고, 정확하고, 안정적으로 감지되도록 검사 프로세스를 모니터링 및 제어할 수 있습니다. 또한 TAMARACK 152 장치는 사용하기 쉽고 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하여 검사 프로세스를 설정하고, 검사 결과를 검토하고, 추가 분석 및 연구에 사용할 수 있는 자세한 보고서를 생성할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 다양한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 유형을 빠르고 안정적으로 검사하는 데 사용할 수있는 사전 구성된 검사 레시피 라이브러리가 제공됩니다. 152 도구는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 솔루션입니다. 그것 은 신속 하고 신빙성 있는 결함 을 정확 히 탐지 하도록 설계 되었으며, 여러 가지 기판 에 사용 될 수 있다. 그렇다. 또한, 자산에는 직관적인 GUI 와 사전 구성된 레시피 라이브러리가 제공되며, 이 레시피 라이브러리는 검사 프로세스를 빠르고 안정적으로 설정할 수 있습니다. 타마랙 (TAMARACK) 152 모델을 사용함으로써, 제조업체와 엔지니어는 마스크와 웨이퍼가 제대로 검사되고 결함 또는 이상이 정확하고 빠르게 감지 될 수 있다고 확신 할 수 있습니다.
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