판매용 중고 SVG / PERKIN ELMER / BSL 661HT #9148931

SVG/PERKIN ELMER/BSL 661HT는 반도체 산업을 향한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 전체 포토마스크/웨이퍼 (photomask/wafer) 제조 공정의 정확성과 속도를 극대화하는 고급 자동 검사 기능을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 모듈식 (modular) 설계로, 고객의 개별 요구에 맞게 사용자 정의 (custom-made) 기능을 통합할 수 있는 유연성과 잠재력을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 고급 비전 가이드 검사 기술로 최신 업계 표준을 활용합니다. 이를 통해 연산자는 마스크를 정확하게 검사하고 5 미크론의 열 픽셀 크기까지 웨이퍼를 아래로 감을 수 있습니다. 현미경의 3D 이미징은 자동화된, 높은 처리량 수준의 정확성과 속도로 고해상도 결과를 제공합니다. SVG 661HT의 기능에는 마스크 검사, 웨이퍼 검사, photoalbum 검사 및 결함 계산이 포함됩니다. 이 장치는 또한 분리 된 패턴 인식, 렌즈 수정, 의심스러운 패턴의 자동 인식, 추적 가능성 및 다중 부분 정렬과 같은 고급 패턴 인식 및 측정 기능을 제공합니다. 강력한 이미지 처리 기능을 통해 결함 및 오염 물질 감지, 결함 및 칩 수 계산, 레이아웃 (layout) 확인 등을 수행할 수 있습니다. 이 기계는 시스템 기능을 보충하거나 확장하기 위해 다양한 마스크 검사 (mask inspection) 시스템과 선택적으로 통합될 수도 있습니다. 처리 시간 측면에서 BSL 661HT 도구는 검사 주기를 단축하기 위해 200 나노 초 (nanoseconds) 의 전송 시간을 가지며 스캐닝 속도를 높이기 위해 다른 경쟁사보다 400 배 빠른 병렬 프로세스 시간을 갖습니다. 이 자산은 또한 고속 마스크 제작 및 프로브 (Probe) 를 지원하며, 처리량을 향상시켜 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델은 직관적인 제어 소프트웨어를 갖춘 사용자 친화적 인 환경을 갖추고 있으므로, 숙련되지 않은 마스크/웨이퍼 검사 담당자가 장비를 쉽게 실행, 관리할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적인 도구, 모듈, 테스트 패턴 라이브러리 (Test Pattern Library) 를 통해 다양한 기능 유형 (Line, Via, Pad 등) 을 포괄하여 애플리케이션의 구체적인 요구 사항을 손쉽게 조정할 수 있습니다.