판매용 중고 SONY IRG-12 #293665056

SONY IRG-12는 집적 회로 생산을위한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 집적회로 생산에 사용되는 고해상도 패턴 마스크 (patterned mask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 자동으로, 정확하고 상세하게 검사하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 높은 확대 스캐닝 전자 현미경 (SEM), 광학 결함 검사 (ODI), 자동 결함 분류 (ADC) 및 서브 미크론 해상도 이미징과 같은 여러 가지 고급 기술을 결합합니다. IRG-12 장치는 높은 배율 전자 광학 스캔 렌즈를 갖춘 주사 전자 현미경 (SEM) 을 사용하여 최대 1,000x 배율의 마스크 및 웨이퍼 이미지를 얻습니다. 이 기계는 SEI (secondary electron imaging), SEEM (secondary electron emission microscopy), x- 레이 이미징 및 STM (scanning tunneling microscopy) 과 같은 광범위한 이미징 모드를 사용하여 해상도를 높이고 표면 결함을 감지합니다. 또한 SEM 이미징 외에도 SONY IRG-12 도구에는 결함이 있는 위치와 마스크 및 웨이퍼 크기를 감지하는 ODI (Optical Defect Inspection) 가 포함되어 있습니다. 에셋은 고급 알고리즘 (advanced algorithms) 과 자동화된 이미지 처리 기술을 사용하여 파인 라인 패턴의 결함을 감지하고 서브 미크론 (sub-micron) 수준으로 결함의 정밀도 모양과 각도를 감지합니다. 검사 정확성과 속도를 더욱 향상시키기 위해 IRG-12 모델에는 결함을 식별하고 분류하는 ADC (Automated Defect Classification) 가 포함되어 있습니다. 심층 학습 기반 결함 분류기 (Deep Learning-based Defect Classifier) 를 사용하는 이 장비는 다양한 물리적 결함 유형과 구별하여 파티션 검사의 자세한 메트릭 결과를 제공할 수 있습니다. SONY IRG-12 시스템에는 마스크 및 웨이퍼의 고해상도 검증을위한 서브 마이크론 해상도 이미징도 포함되어 있습니다. 고해상도 전자 검출기는 고급 세부 수준에서 미묘한 표면 구조의 영상을 가능하게합니다. 이 장치는 또한 넓은 영역의 미묘한 패턴을 정확하게 식별하는 정밀 이미지 처리 (precision image processing) 및 패턴 일치 (pattern matching) 도구를 제공합니다. 일관되고 정확한 검사 결과를 얻기 위해 IRG-12 기계에는 고급 품질 제어 도구가 장착되어 있습니다. 이 도구는 자동으로 온화한 모니터링을 수행하여 안정적인 이미징 조건을 보장하고 유지 보수 (maintenance-free) 작업을 위한 정기적인 예방 유지 관리 작업을 제공합니다. 결론적으로, SONY IRG-12는 집적 회로 생산에 이상적인 고급 검사 자산입니다. 고급 기능과 자동 시스템 (Automated System) 은 매우 높은 해상도의 마스크와 웨이퍼에 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다.