판매용 중고 SMS TSM 3000W-RCZ #293654288

SMS TSM 3000W-RCZ 마스크 및 웨이퍼 검사 장비 (SMS TSM 3000W-RCZ Mask and Wafer Inspection Equipment) 는 반도체 업계에서 사용되는 마스크 및 웨이퍼의 품질과 무결성을 검사하는 데 사용되는 자동 시스템입니다. 안정성이 뛰어난 고성능 (HPS) 장치는 가장 작고 복잡한 패턴까지 빠르고 정확하게 검사할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계에는 레이저 자동 초점 정렬 도구와 서브 미크론 해상도 이미징에 광 산란 및 산란 이론을 사용하는 독점적 인 습식 스캐너 탐지 (Wet Scanner Detection) 에셋이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 Euro eBeam 광학 현미경과 새로 설계된 Wide-Field CMOS 기반 이미징 장비가 있습니다. 이러한 고해상도 이미징 시스템은 도량형, 자동 결함 검사, 자동 인쇄 검사에 사용되는 데이터를 제공합니다. 이 시스템은 또한 일반 실험실에서 사용하는 다양한 도구를 제공합니다. 이 장치는 또한 칩 테스트 및 수율 분석과 관련된 다양한 기능을 제공합니다. 이러한 기능 중에는 온도 프로파일링 및 압력 매핑을 통한 입자 제어, 입자 크기 조정 및 입자 특성이 있습니다. 또한, 기계는 3D 측정으로 인라인 결함 감지, 플랫 필드 감지 및 교차 경유 검사를 할 수 있습니다. 이 도구는 미크론 수준의 심각한 결함을 감지 할 수도 있습니다. 이 자산에는 검사 프로세스를 자동화하는 기능과 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 여기에는 배치 처리, 패턴 인식 및 "스마트 제거" 알고리즘이 포함됩니다. 또한, 이 모델은 다양한 분석 언어를 지원하므로 결함 감지 (defect detection) 및 분석 (analysis) 의 정확성을 향상시킬 수 있습니다. TSM 3000W-RCZ 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 높은 처리량, 신뢰성 및 비용 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 품질을 감지하고 유지 관리하는 강력한 솔루션입니다. 반도체 업계에 이상적인 선택이라 할 수 있는 다양한 크리티컬 치수 (critical dimensions) 를 효율적으로 검사하고 분석할 수 있는 툴을 제공합니다 (영문).