판매용 중고 SII NANOTECHNOLOGY / SEIKO XVision 200TB #9240326
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ID: 9240326
Defect inspection system
Triple beam
FIB:
Resolution: 4 nm at 30 kV
Acceleration voltage: 0.5 ~ 30 kV
Maximum probe current: 90 nA
Maximum probe current density: 45A/cm²
Argon:
Resolution: 3 nm at 5 kV
Acceleration voltage: 1 ~ 30 kV
SEM:
Acceleration voltage: 0.5 ~ 1 kV
Maximum beam current: 10 nA
EDS Specification:
AZTec Energy Standard micro-analysis system
With X-MaxN 80 large area analytical silicon drift detector
Hardware includes:
X-MaxN 80 SDD Detector with PentaFET precision
Active area: 80 mm²
Resolution guaranteed on Mn K - 127eV at 50,000 cps
SATW Windows for detection of elements from beryllium
MicsF+ Microscope image capture system
X-Stream 2 Micro-analytical pulse processor
PC
Operating system: Windows 7
Widescreen LCD display, 23"
Aperture: 1
Accelerating voltage: 3 kV
Beam current: ~210 pA
(3) Separate beams:
High resolution FE-SEM imaging
Precision FIB milling
Ultra high resolution TEM imaging:
Low energy Ar polishing to minimize sample damage
FIB-SEM-Ar beams:
Coincident eliminating need for sample movement between beams
FE-SEM Monitoring.
SEIKO X Vision 200TB 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 고해상도, 높은 처리량, 높은 정확도를 자랑하는 최첨단 기술입니다. 이 시스템은 고급 마이크로 일렉트로닉, 의료 및 평면 패널 디스플레이 어플리케이션에 적합합니다. SII NANOTECHNOLOGY X Vision 200TB 장치에는 4,000 픽셀 해상도의 CCD 카메라와 내장 고전력 조명기가 있습니다. 따라서 결함 및 기타 특성에 대한 고품질 이미징 (고품질) 을 통해 모든 작업 방향에서 HD 이미지 캡처를 수행할 수 있습니다. 이 도구에는 정확하고 고화질 이미지를 빠르고 효율적으로 제공하는 SII NANOTECHNOLOGY/SEIKO 독점 자동 초점 기술도 있습니다. 따라서 현장 검사 및 거부를 통해 비용을 절감하고, 마스크/웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있습니다. 검사 자산은 또한 인체 공학 디자인과 직관적 인 사용자 인터페이스를 특징으로합니다. 따라서 효율적이고 편리한 워크플로가 가능합니다. 이 모델에는 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 결함을 자동으로 감지하고 수정하는 강력한 이미지 처리 장비가 있습니다. 또한 고급 결함 라이브러리 (advanced defect library) 에 다양한 결함 유형이 포함되어 있어 쉽게 감지, 그룹화할 수 있습니다. SEIKO X Vision 200TB 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템은 사용하기 쉬운 소프트웨어 및 사용자 친화적 명령으로 효율성을 극대화하도록 설계되었습니다. 데이터 분석, 보고, 아카이빙을 위한 고성능 툴과 강력한 툴을 제공합니다 (영문). 고급 결함 분류 (Advanced Defect Classification) 기능을 통해 데이터 마이닝 및 결함 분류에 이상적입니다. 머신에는 패턴 가시성을 향상시키기 위해 사용자 정의 가능한 이미지 개선 도구 (customizable image enhancement tools) 가 있습니다. 또한 Hard Copy Report 및 디지털 아카이빙 기능을 통해 결과를 기록할 수 있습니다. 또한 SII NANOTECHNOLOGY X Vision 200TB 의 맞춤형 데이터 분석 기능을 통해 사용자는 데이터를 빠르고 정확하게 분석, 아카이빙할 수 있습니다. 전반적으로, SII NANOTECHNOLOGY/SEIKO X Vision 200TB 마스크 및 웨이퍼 검사 도구는 신뢰할 수있는 품질 보증 및 회로 패턴 검사에 탁월한 품질과 정확성을 제공합니다. 이 자산은 고급 반도체 (semiconductor) 및 의료 기기 (medical device) 제조 공정의 엄격한 내성을 충족하는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 모델은 높은 해상도, 처리량, 정확도로 복잡한 마스크, 웨이퍼 검사 어플리케이션에 적합합니다.
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