판매용 중고 SIEMENS Optrix 3D / 3000 #9169220
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SIEMENS Optrix 3D/3000 Mask & Wafer Inspection Equipment는 차세대 3D (3D) 장치의 결함을 분석 및 감지하기위한 차세대 고급 검사 도구입니다. 이 시스템은 포토 마스크 (photomask), 레티클 검사 (reticle inspection), 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 와 같은 고급 반도체 프로세스를 위해 설계되었으며 높은 해상도와 정확성이 필요합니다. 이 장치의 핵심 기능은 고급 3D 이미징 아키텍처 (Advanced 3D Imaging Architecture) 와 방향성 조명 (Directional Lighting) 을 활용하여 포토마스크 및 웨이퍼의 가장 자세한 내용을 검사하는 데 있습니다. Optrix 3D/3000은 레이저와 광학의 조합을 사용하여 장치의 정확한 3D 이미지를 생성하며, 이를 분석하고 결함을 감지합니다. 이러한 접근 방식은 결함의 우선 순위를 정확히 정하고 파악하고, 처리량 및 수익률을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 이 기계의 실시간 결함 감지 (real-time defect detection) 기술은 높은 처리량을 통해 안정적이고 정확한 검사 기능을 제공합니다. 라인 공간, 선 폭 측정, 회색 레벨 변형, 패턴 일치 (pattern matching), 정확한 감지 및 결함 분류 등 포괄적인 이미지 분석 알고리즘이 특징입니다. 이 도구에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 다양한 도구와 설정 (setting) 이 장착되어 있어 이미지를 실시간으로 조작할 수 있습니다. 여기에는 이미지 초점 조정, 대비 설정, 색상 개선 등의 기능이 포함됩니다. SIEMENS Optrix 3D/3000은 박막 트랜지스터, CMOS 이미지 센서, MRAM, MCU-on-APS 및 혼합 신호 ASIC 등 다양한 웨이퍼 크기와 유형을 작동하도록 설계되어 광범위한 반도체 장치 검사 응용 프로그램에 적합합니다. 또한, 자산에는 각 애플리케이션에 대한 장비의 설정을 조정할 수 있는 자동 튜닝 모델 (automated tuning model), 검사 결과의 추적성을 보장하는 완벽한 결함 데이터베이스 액세스 (complete defect database access) 등 다양한 기능이 제공됩니다. 이 시스템은 SEMI E34, 1D, 2D 등의 주요 고객 표준을 준수하므로 다양한 고객 요구 사항에 적합합니다. Optrix 3D/3000 Mask & Wafer Inspection Unit은 고급 반도체 장치 검사를 위한 차세대 도구입니다. 방향성 조명과 3D 이미징 아키텍처를 사용하여 정확한 3D 이미징 및 자동 결함 감지를 제공합니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 이미지 분석 알고리즘 (image analysis algorithm) 을 통해 최고의 정확성과 검사 결과의 추적성을 보장합니다. 이 기계는 다양한 반도체 장치 검사 응용 프로그램에 적합하며, 처리량 및 수익률이 향상되었습니다.
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