판매용 중고 SEMILAB WT-2000PV #293770860
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ID: 293770860
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Measurement system, 12"
Type: µPCD
Manual indexer Wafer handler
Cassette indexer: 100-200 mm
(13) Slot cassette indexer with open cassette: 300 mm
(25) Slot cassette indexer with FOUP, FOSB and open cassette: 300 mm
No PC
2008 vintage.
SEMILAB WT-2000PV는 일반적으로 반도체 제조에 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 주요 목적은 반도체 제작 공정 (예: 포토 마스크 (photomask) 의 스텐실 (stencil) 노출) 과 같이 반도체 제조 공정에 사용되는 마스크의 결함을 감지하는 것입니다. SEMILAB WT 2000 PV는 포토 마스크 (photomask) 에서 약한 결함뿐만 아니라 웨이퍼에 존재할 수있는 오염 물질을 감지 할 수 있습니다. WT-2000PV에는 고급 이미징 시스템 (Advanced Imaging System) 이 장착되어 있어, 여러 가지 고유한 기능이 있어 결함이 정확하게 감지됩니다. 먼저, 최대 100kHz 의 회선 속도와 10 nm 의 작은 픽셀 크기 (pixel size) 로 매우 빠른 속도로 고해상도 이미지를 제작할 수 있습니다. 또한 내장 이미지 처리 장치를 사용하여 이미지 품질을 향상시킵니다. 또한 표준 SEM (Standard SEM) 에 의해 단순히 달성 할 수없는 위업 인 0.1äm 크기까지 오염 물질을 감지 할 수 있습니다. 이 작업을 수행하기 위해, 머신은 독점 알고리즘을 사용하여 이미징 도구 (imaging tool) 에서 생성한 원시 데이터를 처리합니다. 또한, 사용자가 모든 심각한 결함을 파악할 수 있도록 실시간 피드백을 제공할 수 있습니다. WT 2000 PV는 또한 고급 진동 감쇠 자산 (Advanced Vibration Dampening Asset) 으로 구성되며, 모델에서 생성 한 이미지의 정확성과 정확성을 보장합니다. 환경 조건 (environmental conditions) 이 다양하게 작동하도록 설계되었으며, 정확하고 반복 가능한 측정을위한 샘플 챔버 진공 기능이 있습니다. 장비는 또한 포토 마스크 (photomask) 의 노출 시간을 제어 할 수 있으며, 이는 노출 시간이 정확하고, 안정적이며, 정확하도록 보정 될 수있다. 또한, 사용자 친화적인 제어 기능과 자동화된 소프트웨어 절차를 통해 운영 용이성 및 반복 가능성을 보장합니다. 전반적으로 SEMILAB WT-2000PV는 매우 강력하고 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 고급 이미징 및 처리 기능, 고해상도 이미징 (high resolution imaging), 진동 감쇠장치 (vibration dampening unit) 는 정확하고 정확한 측정이 가능하도록 보장하는 반면, 사용자 친화적인 제어 및 자동화 프로시저를 통해 사용이 간편하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.
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