판매용 중고 SEMILAB / SDI WT-2000PVN #293810216
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SEMILAB/SDI WT-2000PVN 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 마스크, 웨이퍼, 레티클 및 오버레이 대상을 자동으로 검사하도록 설계된 옵토 전자 이미징 플랫폼입니다. 탁월한 광학 성능, 자동화된 정밀 정렬, 고속 자동 이미지 분석 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 CCD 센서 어레이, 4 개의 형광등, 동력 이동이 가능한 조정 가능한 스테이지가 장착되어 있습니다. 이미징 CCD 센서 어레이에는 높은 픽셀 해상도, 뛰어난 CCD (Charge-Coupled Device) 읽기 노이즈, 낮은 어두운 전류, 넓은 동적 범위가 있어 선명하고 정확한 결과를 제공합니다. 형광 광원은 스테이지 조명과 함께 최고 20 만 피트의 휘도 (luminance) 를 제공하여 뛰어난 이미지 명암을 제공합니다. 자동 정밀도 정렬을 통해 정확한 이미지 오버레이 결과를 얻을 수 있습니다. SDI WT-2000PVN은 결함 감지, CD 측정, 차트 분석 및 기타 이미지 기반 응용 프로그램을위한 전용 소프트웨어를 갖춘 자동 이미지 분석 기능을 갖추고 있습니다. 이미지 분석 기능은 회전 패턴, 치수 측정 격리, 3D 서피스 측정 생성 등 작은 결함 및 변형을 감지하도록 설계되었습니다. 이 분석은 독립 실행형 모드로 실행되거나 고급 응용 프로그램의 경우 사용자 지정 스크립트로 실행될 수 있습니다. 이 장치에는 효율적인 작동을 위한 고급 소프트웨어 인터페이스 (자동 이미지 분석 및 결함 감지를 위한 사전 설정 기준 포함) 도 포함되어 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스에는 보정 기능, 사전 설정된 분석 기준, 자동화된 추적 가능성, 광범위한 문서를위한 강력한 데이터베이스/보고서 기능이 내장되어 있습니다. 고급 응용 프로그램의 경우, 사용자는 사용자 지정 분석을 위해 스크립트 또는 기타 코딩 언어를 사용할 수 있습니다. SEMILAB WT-2000 PVN은 높은 처리량, 높은 정확도, 반복성이 필요한 어플리케이션을 위해 설계되었으며, 다양한 이미징 작업에 비해 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 기계는 결함 검토, 설계 규칙 검사, 레티클 (reticle) 및 오버레이 검사, 반도체, 전자 제품 및 의료 산업의 프로세스 제어에 적합합니다.
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