판매용 중고 SEMILAB / SDI WT-2000D #9250076

SEMILAB/SDI WT-2000D는 반도체 생산에 산업용으로 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 전기광학 (Telecentric Optical System) 을 활용해 직경이 최대 300mm 인 웨이퍼 (Wafer) 에서 결함을 감지할 수 있다. 이 장치에는 정렬 장치, 이미지 캡처 장치 및 로봇 처리 모듈이 포함됩니다. 기계는 공기 기반 정렬기를 사용하여 이미징 도구와 정확한 웨이퍼 정렬을 보장합니다. 빠르고 정확한 이미지 캡처를 보장하기 위해 이 자산은 소음이 적은 CCD 카메라와 1GB/s (데이터 속도) 를 사용합니다. 이 카메라는 2048 x 2048 해상도로 스틸 프레임과 비디오 스트림을 모두 캡처할 수 있습니다. 로봇 처리 모듈은 정확하고 반복 가능한 동작을 제공하면서 모든 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 정확한 웨이퍼 변환 및 시퀀스 작업을 제공합니다. 또, "컨트롤 모델 '은 시력 장비 와 통합 되어" 로봇' 암 이 검사 정보 를 근거 로 "웨이퍼 '를 직접 조작 할 수 있게 해 준다. 이 시스템은 또한 고속 스티칭 알고리즘을 사용하여 웨이퍼의 패턴 (예: IC 디자인에 사용된 패턴) 또는 마스크의 스팟 (예: 리소그래픽 오류) 을 검색할 수 있습니다. 또한 얼룩 감소 기술을 사용하여 대비를 개선하고 노이즈를 줄입니다. 이 장치는 또한 SDI 특허 die: Probe 도구를 사용하여 웨이퍼에 각 다이의 X, Y 및 회전 각도를 정확하게 확인하고 기록합니다. SDI WT-2000D는 종합적인 도량형 및 분석 도구를 제공하여 정확성과 생산성을 향상시킵니다. 또한 false color, color-coded hotspot, grayscale display 등 다양한 결함 디스플레이를 제공합니다. 오류 또는 결함이 있는 강조 영역을 표시하여 쉽게 식별하고 복구할 수 있습니다. 이 기계는 최첨단 알고리즘과 소프트웨어 (software) 로 구동되며, 신속하게 문제를 찾고 검사 시간을 개선할 수 있습니다. 또한 고급 검토 기능과 통계 검토 (statistical review) 를 통해 정확한 반복 가능성을 분석할 수 있습니다. 또한, 기계는 정확한 결과를 얻기 위해 SEMILAB에 의해 교정됩니다. 전반적으로, SEMILAB WT-2000D는 반도체 산업의 특정 요구를 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. "웨이퍼 '와" 마스크' 를 안정적 으로 검사 하고 결함 을 신속 히 찾아내어 생산 에 이상적 인 선택 을 할 수 있다.