판매용 중고 SEMILAB / SDI RT-100 #9202582

SEMILAB/SDI RT 100은 높은 처리량, 자동 생산 라인 어플리케이션을 위해 설계된 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 또한 마스크, 웨이퍼 결함, 모양 정보의 정확하고 고해상도 이미징을 고객에게 제공합니다. SDI RT 100은 결함 및 입자의 검출에 SDI 독점 스캐닝 전자 빔 탐지 (SEBD) 기술을 사용합니다. 사용자는 DRAM, SRAM, CMOS, Bi-CMOS, SOI 및 GaAs (Gallium Arsenide) 기술을 포함하여 다양한 반도체 장치를 검사 할 수 있습니다. 시스템은 이중 축 x-y 단계를 사용하여 마스크, 웨이퍼 결함, 세그먼트 웨이퍼 단계를 검색, 분석하여 모양과 피쳐를 심층적으로 분석합니다. 데이터 수집 시 반복 가능한 (repeativility) 결과를 보장하여 사용자가 작은 결함을 안정적으로 감지할 수 있도록 합니다. SEMILAB RT 100은 장치의 내부 구조를 정확하게 측정하고, 결함 감지, 회로의 무결성 측정, 제조 공정에 대한 품질 보장 (Quality Assurance) 을 제공하는 고속 X- 선 소스를 갖추고 있습니다. 이 장치에는 또한 최대 해상도와 정확도를 위해 여러 이미지를 자동으로 스티칭하기위한 SEMILAB 독점 멀티 스티칭 (Multi-stitching) 알고리즘이 있습니다. 추적 (Tracking) 및 상관 관계 (Correlation) 알고리즘은 한 이미지의 피쳐를 감지하고 다른 이미지로 추적하여 결함을 보다 자세히 볼 수 있습니다. 또한 RT 100 의 고급 데이터 획득 (advanced data acquisition) 기술을 통해 결함, 모양 프로파일 및 기타 기능을 신속하게 파악하고 추출할 수 있습니다. 자동화된 결함 분류 알고리즘 (automated defect classification algorithm) 은 해당 유형에 따라 웨이퍼 결함을 자동으로 정렬하는 등 결함에 대한 빠른 평가를 제공합니다. 요약하면, SEMILAB/SDI RT 100은 다재다능하고 신뢰할 수있는 이미징 머신으로, 고객에게 고해상도 마스크 및 웨이퍼 이미지를 제공하도록 설계되었습니다. 강력한 기술을 바탕으로 처리량 검사 및 데이터 분석 자동화 (Automated Data Analysis) 기능을 제공합니다. 고급 감지 (Advanced Detection) 기능을 통해 사용자는 프로덕션 프로세스 중에 최고 품질의 제품을 보장할 수 있습니다.