판매용 중고 SEMILAB / SDI PV-2000A #9389454

SEMILAB/SDI PV-2000A는 중요한 사진 촬영 검사의 고급 요구 사항을 충족하도록 설계된 컴퓨터 제어 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. SDI PV-2000A 플랫폼은 광 검사 및 전기 테스트를 수행합니다. 시간당 최대 2000 개의 웨이퍼 (wafer) 나 마스크 (mask) 를 동시에 검사하고 테스트할 수 있는 고성능 시스템입니다. 이 기계는 접촉 구멍, 선 너비, 오버레이 정밀도, 에치 프로파일 결함 등 photomask 및 wafer 기능에 대한 심도 있는 검사를 제공합니다. SEMILAB PV-2000A에는 6 "x6" 고해상도 레이저 투영 장치, 매우 정확한 비전 머신 및 고급 이미지 처리 알고리즘이 장착되어 있습니다. 이 도구는 간섭 프린지의 광장 강도 프로파일을 기반으로 레이저 간섭 웨이퍼 검사를 위해 CEMI (Contrast Estimation Mode Interferometry) 를 수행합니다. 에셋은 안티 코히런트 (anti-coherent) 광원 (두 개의 레이저 빔에서 산란 된 광원) 으로부터 빛과 방사선파를 결합하여 간섭 패턴을 만들고 패턴을 사전 설정된 매개변수와 비교합니다. 결함이 발견되면, 온보드 픽셀 센서로 찍은 측정값의 정확도는 서브 미크론 (sub-micron) 평가를 가능하게 합니다. PV-2000A (PV-2000A) 의 고급 광점 탐지 절차는 가장 작은 표면 결함까지도 감지 할 수 있습니다. 이 기계에는 자동 패턴 인식 (automated pattern recognition) 및 스마트 검색 (smart search) 알고리즘이 장착되어 있어 결함의 빠른 검색, 감지 및 특성화가 가능합니다. 또한, 이 모델에는 자동 초점 모듈이 장착되어 최대 1 미크론 (micron) 의 정확도까지도 접촉 구멍을 안정적으로 감지 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 저항, 커패시턴스 (capacitance), 고장 전압 (breakdown voltage) 등 다양한 테스트를 수행하는 통합 자동 전기 테스트 시스템을 갖추고 있습니다. 자동 전기 테스트 장치는 프레스 다운 접촉 프로브 (press-down contact probe) 및 전용 테스트 하네스를 사용하여 매우 빠르고 정확도가 높은 테스트를 수행합니다. SEMILAB/SDI PV-2000A는 검사 프로세스를 단순화하고 최소한의 수동 개입으로 처리량을 크게 증가시키는 완전 자동화 머신입니다. 독립형 도구는 저항 스피너, 플라즈마 에처 (plasma etcher) 및 사출 몰딩 (injection moulding) 과 같은 많은 유형의 웨이퍼 제조 장비와 완벽하게 호환됩니다.