판매용 중고 SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9382881
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SEMILAB/SDI FAaSt 350은 반도체 제조의 생산 라인을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 자동 시스템은 동급 최고의 검사 기능을 제공하며, 고급 3D 스캐닝 및 정렬 기능을 갖춘 초대형 (ultra-large) 영역 검사 분야를 갖추고 있습니다. 이 장치는 15mm에서 400mm 사이의 모든 크기 웨이퍼를 검사할 수 있으며, 해상도는 1µm입니다. 이를 통해 이미징 프로세스의 세밀함과 정확도를 높일 수 있습니다. SDI FAaSt 350에는 지능적이고, 빠르고, 정확한 자동 초점이 장착되어 있으며, 정확도가 높은 XYZ 스캐너가 장착되어 있으며, 이 스캐너는 0.1m까지 작은 기능을 식별하고 측정 할 수 있습니다. 이는 장애를 포함하여 검사 대상 웨이퍼의 고급 세부 사항을 캡처하는 데 도움이됩니다. 이 기계는 또한 결함을 감지하고 결함 맵을 생성하기 위해 특별한 온보드 하드웨어 (on board hardware) 를 가지고 있으며, 실시간으로 분석 할 수있는 결함 맵 (defect map) 을 생성하여 웨이퍼 생산 라인에서 더 높은 수준의 추적 성과 결함 제어를 허용합니다. 이 툴은 또한 결함 감지, 분석, 분류를 지원하는 소프트웨어 솔루션을 제공합니다. SEMILAB FAaSt 350 Asset Software Suite에는 다양한 이미징 및 오버레이 도구가 포함되어 있으며, 결함 감지, 분석 및 결함 분류를위한 많은 특수 기능이 있습니다. 이 소프트웨어 제품군은 명암비 향상, 평균, 선명화, 디포커싱 등 다양한 시각적 기능을 지원합니다. 또한 파퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 생산 라인에 대한 자세한 분석을 제공하기 위해 결함 유형 외에도 입자 크기와 수에 대한 정보를 제공 할 수 있습니다. FAaST 350 은 내구성과 수명이 길도록 설계, 제작되었습니다. 이 제품은 폐쇄 루프 (closed-loop) 스캐닝 모델과 고품질 냉각 장치 구성 요소 덕분입니다. -10 ° C ~ 50 ° C 정도의 온도에서 작동 할 수 있으므로 다양한 사용 시나리오 및 환경에 적합합니다. 컴팩트 한 크기로 인해 시스템은 단단한 공간에서 포장하기에 이상적입니다. SEMILAB/SDI FAaSt 350은 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장치이므로, 청소실, 실험실 또는 제조 시설과 같은 많은 산업 환경에서 사용하기에 적합합니다. 이 기계는 많은 선두 기업들에 의해 신뢰되고 있으며, 세계 여러 산업에서 빠른 속도와 정확성으로 결함을 감지하고 식별하기 위해 사용되고 있습니다 (영문). 자동 기능 세트, 뛰어난 이미징 기능, 수명이 긴 SDI FAaSt 350 은 현재 사용 가능한 최고의 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템 중 하나입니다.
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