판매용 중고 SEMILAB / SDI FAaSt 350 #9245382
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판매
ID: 9245382
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Wafer characterization system, 12"
Process: Contamination measurement
With power transformer / line conditioner
Stand alone
Dual FOUP robotic wafer load system platform, 12"
Platform: Robot / Pre-aligner
(2) BROOKS Vision loadports
Mini-environment
SEMI E87 Communication capability
2013 vintage.
SEMILAB/SDI FAaSt 350은 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 웨이퍼 처리를 위한 동적 척 (dynamic chuck), 잘못된 정렬 오류를 보완하는 자유도 6 도 (freedom of freedom) 의 고급 광학 디자인, 샘플의 이미지를 캡처하는 고해상도 카메라가 장착되어 있습니다. 이 단위는 임계 치수, 모서리, 등록 표시, CD, 듀티 사이클 및 세부 피쳐 검사를 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한 정확한 웨이퍼 정렬 (wafer alignment) 과 정확한 영역 측정을 위한 넓은 시야 (field of view) 를 제공하여 심각한 패턴 결함을 매우 정확하게 분석 할 수 있습니다. 이 장치의 혁신적인 광학 설계는 회절 (diffraction) 이 제한된 시야를 가진 비구면 렌즈 머신 (aspheric lens machine) 으로 구성되어 최적의 성능을 제공합니다. 또한, 고유한 설계를 통해 샘플의 폭보다 빠른 매핑 (rapid mapping) 을 허용하여 처리량이 높아지고 정확도가 높아집니다. 통합 된 Philips 소스 조명은 전체 시야에서 균일 한 조명을 보장합니다. 더욱이, 이 장치는 스캔 및 노출을위한 독립적 인 속도 조정 메커니즘을 특징으로하며, 더 많은 유연성을 제공합니다. 또한 SDI FAaSt 350에는 정교한 이미지 처리 소프트웨어가 장착되어 있어 높은 정확성과 반복성이 보장됩니다. 소프트웨어의 정확한 알고리즘은 CD, 피치, 듀티 사이클, 노드 길이, 라인 너비, 등록 표시 정렬 등 포괄적인 측정이 가능합니다. 또한, 내장된 사용자 친화적 인터페이스를 통해 시스템을 단순하고 직관적으로 작동할 수 있습니다. 이 도구에는 특허 받은 마스크 리스 필름 필링 에셋 (maskless film peeling asset), 센서가있는 특허 캡처 기술, 전체 시야에서 상세하고 구조화 된 분석을 허용하는 특허 광학 재구성 알고리즘 (optical reconstruction algorithm) 등 여러 가지 뛰어난 기능이 있습니다. 또한, 이 장치의 모듈식 (modular) 설계를 통해 사용자는 구성 요소를 교환하거나 업그레이드할 수 있으며, 개별 요구 사항에 맞게 모델을 사용자 정의할 수 있습니다. SEMILAB FAaSt 350은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 강력한 광학과 정교한 이미지 처리 알고리즘을 결합하여 정확한 측정을 제공합니다. 즉, 최적의 성능과 빠른 처리 속도를 제공하여 모든 애플리케이션에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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