판매용 중고 SEMILAB / SDI FAAST 330A #9382822

SEMILAB/SDI FAAST 330A는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 자동 웨이퍼 검사 및 후속 측정을 위해 설계되었습니다. 고급 자동 (Advanced, automated) 소프트웨어는 웨이퍼와 마스크, 다양한 형상에서 나노미터 해상도로 문제 영역을 식별하고 찾는 데 도움이 됩니다. 이 시스템에는 2 개의 수직 CCD 카메라가 장착되어 있어 탁월한 이미지 명암비 및 이미지 캡처 해상도를 제공합니다. 이 카메라는 다양한 유형의 구조를 검사하기 위해 다양한 스케일 (3-5µm/픽셀) 로 이미지를 캡처하도록 설정되어 있습니다. 이를 통해 운영자는 작은 구조물을 검사하는 것에서, 쉽게 큰 구조로 전환 할 수 있습니다. 이 장치에는 두 개의 수직 측정 센서가 포함되어 있습니다. 센서는 두 가지 해상도 수준 (각각 최대 0.4äm 및 1.2äm) 으로 제공됩니다. 검사 중인 구조의 수직 형상을 정확하게 측정하는 데 사용됩니다. 또한, 0.1 ° 의 해상도로 구조의 기울기 측정도 가능합니다. SDI FAAST 330A의 정확한 광학 정렬은 동시 캡처 및 측정과 함께 쉽고 빠른 웨이퍼 오버레이 (wafer overlay) 정렬을 가능하게 합니다. 자동 웨이퍼 정렬 도구 (Automatic Wafer Alignment Tool) 를 사용하여 캡처된 모든 이미지가 웨이퍼에 정확하게 정렬되어 있는지 확인합니다. 또한 이 시스템에는 DMPC (Data Management and Process Control) 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 이 최첨단 소프트웨어는 운영자가 단일 제어 지점 (Point of Control) 에서 전체 공구 프로세스를 제어할 수 있도록 하여 프로세스 검사 및 편집을 단순화합니다. 마지막으로, SEMILAB FAAST 330A에는 모델의 정확성을 확인하고 잠재적 문제에 대한 피드백을 제공하는 자동 교정 에셋이 내장되어 있습니다. 그런 다음 피드백 (feedback) 을 사용하여 최적의 정확도를 유지하기 위해 모든 매개변수를 조정해야 하는 종합적인 리포트 (report) 를 생성합니다. FAAST 330A는 신뢰할 수 있고 포괄적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 자동화 (automated) 되고 정확한 기능을 통해 여러 기하학과 재료에서 전문적인 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사를 위한 이상적인 선택이 가능합니다.