판매용 중고 SEMILAB / SDI FAaSt 300 #9254549
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SEMILAB/SDI FAaSt 300 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 마스크 및 웨이퍼 재료에 대한 종합적인 검사를 수행하는 포괄적이고 매우 정확한 솔루션입니다. 이 시스템은 탁월한 정확성과 빠른 주기 (cycle time) 를 제공하므로 시장에서 가장 안정적이고 신뢰할 수 있는 검사 시스템 중 하나입니다. SDI FAaSt 300은 최고 수준의 성능을 유지하기 위해 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소를 모두 갖추고 있습니다. 이 장치에는 멀티 메가 픽셀 (multi-megapixel) 카메라와 뛰어난 이미지 디테일과 명암비를 제공하는 대형 광학 머신이 장착되어 있습니다. 고급 병렬 처리 (parallel processing) 아키텍처도 포함되어 있어, 최고 정확도를 유지하면서 검사 주기의 속도를 높일 수 있습니다. 이 도구의 사용자 인터페이스 (user interface) 는 매우 고급적이고 직관적이며, 운영자가 프로세스 요구 사항을 충족하도록 검사 주기를 쉽게 구성하고 구성할 수 있습니다. 검사 작업 중 스테이지 마운트 (stage mounted) 요소는 검사 수행 중에 웨이퍼를 안전하게 고정시킵니다. 고정밀 피에조-액츄에이터 (piezo-actuator) 는 웨이퍼를 실시간으로 기울여 이동시켜 전체 뷰 필드를 검사합니다. 에셋의 소프트웨어 구성 요소에는 wafer 및 mask 라이브러리를 영구적으로 저장하고 리콜하여 빠른 설정 (fast setup) 및 반복 가능 (repeatable) 작업을 수행할 수 있도록 내장 Wafer 데이터베이스가 포함되어 있습니다. 검사 주기 (Inspection Cycle) 이미지가 끝나면 검사된 재료의 이미지를 보관하여 고급 보고서 (Advanced Report) 를 리콜 및 발행할 수 있습니다. SEMILAB FAaSt 300에는 자동 결함 검사를위한 최첨단 알고리즘이 포함되어 있습니다. 요컨대, FAaSt 300 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 와퍼 (wafer) 및 마스크 재료를 자동으로 상세하게 검사하는 고급, 신뢰성 있는 솔루션입니다. 구성 요소는 탁월한 정확도와 빠른 주기 (cycle time) 를 제공하는 반면, 사용자 인터페이스는 반복 가능한 검사를 쉽게 구성하고 성능을 제공합니다. 이 장비의 고급 자동 결함 감지 (Automated Defect Detection) 기능은 프로세스 안정성을 높이는 반면, 내장형 소프트웨어 구성 요소와 웨이퍼 라이브러리는 편리성과 유연성을 제공합니다.
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