판매용 중고 SEMILAB / SDI FAaSt 230 DP+SPV #293811109

SDI FAaSt 230 DP + SPV는 제조 과정에서 마스크, 웨이퍼 및 기타 광 장치 구성 요소를 검사하는 데 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 다양한 가공소재 (가공소재) 와 각기 다른 검사 (가공소재) 를 처리할 수 있는 자동화된 검사 단계와 자동화 장치가 장착되어 있다. 이 기계에는 23 인치 TFT-LCD 듀얼 뷰 디스플레이 및 표준 PLC (programmable logic controller) 가 포함되어 있어 도구의 워크플로를 최적화합니다. 검사 단계는 SEMILAB 전용 동적 웨이퍼 센터 (Dynamic Wafer Center) 에 의해 구동되므로 정확한 위치 지정 및 스테이지 동작이 가능합니다. 에셋은 또한 이미지 분석, 웨이퍼, 마스크 식별이 가능한 내장형 비디오 센서를 사용합니다. 이 모델에는 정확한 마스크 정렬을위한 자동 Zeiss 어댑터, NA 0.19의 검사 대상 렌즈 및 필터, 속도 및 정확성을 위해 고속 스캐닝 디지털 전자 장치 (High Speed Scanning Digital Electronics) 가 있습니다. 이 장비에는 강력한 광원 (light source) 이 장착되어 있으며, 최대 20 nm 이하의 기능을 효과적으로 검사하기 위해 최대 20W의 빛을 출력할 수 있습니다. 또한 시각적 결함 검토, 이미지 세분화, 이미지 처리를 허용하는 소프트웨어도 있습니다. 또한 이미지 필터링, 이미지 빼기, 이미지 등록 (Image Registration) 과 같은 수많은 이미지 분석 알고리즘과 명암비 (Contrast), 선명도 (Sharpness), 결함 영역 크기 (Defect Area Size) 와 같은 여러 통계 및 형태 학적 매개변수를 지원합니다. 시스템은 마스크 모서리 검사 (Mask Edge inspection) 와 같은 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 작업을 수행할 수 있습니다. 이런 검사는 고출력 현미경으로 마스크 가장자리의 이상 (결함, 패턴 오류 등) 을 감지한다. 이 장치는 또한 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 결함 분류 및 3D 결함 볼륨 측정을 제공 할 수 있습니다. 이 기계에는 SPV (스캔 프로브 현미경) 검사를위한 특정 도구가 포함되어 있습니다. 소프트웨어는 고급 데이터 분석 (advanced data analysis) 을 지원하며, 마스크 또는 웨이퍼 표면의 작은 구조를 측정할 수 있습니다. 이 툴에는 데이터 수집, 이벤트 제어, 분석 및 시각화를 위한 여러 기능이 있습니다. 결론적으로, SEMILAB/SDI FAaSt 230 DP + SPV는 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 더 빠른 속도로 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 23 인치 TFT-LCD 듀얼 뷰 디스플레이, 표준 프로그래머블 논리 컨트롤러 (PLC), 통합 비디오 센서, 정밀 마스크 정렬을위한 자동 Zeiss 어댑터, 고출력 광원, 검사 목적 렌즈, 필터 및 고속 스캔 디지털 전자 장치가 포함되어 있습니다. 또한 효과적인 이미지 세분화 (Segmentation) 및 이미지 처리 (Image Processing) 및 다양한 이미지 분석 알고리즘을 지원하는 강력한 소프트웨어 툴이 있습니다. 이 장비는 Mask Edge 검사 및 SPV (scanning probe microscopy) 검사를 포함한 수많은 마스크 및 웨이퍼 검사 작업을 수행 할 수 있습니다.