판매용 중고 SEMILAB / SDI FAaSt 210E-SPV #9203133

SEMILAB/SDI FAaST 210E-SPV는 반도체 웨이퍼 및 마스크의 결함, 침식 및 표면 무결성을 검사하도록 설계된 중급 마스크 및 웨이퍼 정렬 현미경 장비입니다. 이 시스템은 사용자에게 친숙한 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖춘 내장 자동 장치 제어 (SC) 를 갖추고 있습니다. 전체 크기가 800 mm x 680 mm x 640mm 만이이 검사기는 컴팩트하지만 매우 다재다능합니다. SDI FAaSt 210E-SPV는 반도체 산업의 운영자에게 권한을 부여하는 다양한 기능을 제공합니다. 이 도구는 다중 레이어 검사, 자동/수동 스테이지 정렬, 기울기/흔들기 조정, 고급 자동 초점 기능이 가능한 10 위치 XYZ 단계를 갖추고 있습니다. 또한 직접 웨이퍼 작동이 가능한 브라이트 필드/다크 필드 이미지 디스플레이, 0.3-2.5X 배율 범위의 6 위치 콘덴서 및 최대 25X 작업 거리를 제공합니다. SEMILAB FAaSt 210E-SPV는 다양한 수준에서 이미지 획득 및 분석 기능도 제공합니다. 이미지 수정 기능이 내장되어 있으면 맞춤이 잘못되어 정확하게 식별될 수 있습니다. 또한 결함 없는 검사, 에지 감지, 입자 수 및 크기 분석을위한 고급 알고리즘 기반 기능 식별 및 마스킹이 포함되어 있습니다. 또한 선 너비, 모서리 프로파일, 오버레이 정밀도 등 다양한 측정이 가능합니다. 앞으로 나아가 FAaSt 210E-SPV에는 고해상도 CCD 카메라 자산, 조절 가능한 노출 시간, 강력한 PC 기반 이미지 분석 모델이 장착되어 있어 더욱 다양한 결함/기능 인식 및 분석이 가능합니다. 또한 이 장비에는 다양한 이미지 보고 기능이 포함되어 있어 결과를 평가하고 즉시 통과/실패 (pass/fail) 상태를 확인할 수 있습니다. 전반적으로 SEMILAB/SDI FAaST 210E-SPV는 가장 작은 결함조차도 안정적으로 감지하고 측정하도록 설계된 신뢰할 수있는 중급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 전체 고급 (advanced) 기능을 제공하여 사용자가 검사 프로세스 (inspection process) 에서 최상의 결과를 얻을 수 있도록 합니다.