판매용 중고 SEIKO SIR 3000 #9142197

ID: 9142197
웨이퍼 크기: 12"
Mask inspection system, 12".
SEIKO SIR 3000은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 반도체 처리를 위한 완벽한 고품질을 보장합니다. SIR 3000은 마스크 및 웨이퍼 표면에 대한 정확하고, 빠르고, 접촉하지 않는 검사를 수행하여 오염 물질, 결함 및 기타 불규칙성을 감지합니다. 이 시스템은 고급 실시간 검사 기능과 통합 프레임 그래버 (Frame Grabber) 기술을 제공하여 폐기물을 줄이고 프로세스 정확도를 높입니다. SEIKO SIR 3000은 고속 옵틱 (optic), 유연한 자동화 기능, 다양한 검사 및 매크로 도구를 갖춘 통합 플랫폼을 통해 점검을 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 검사 플랫폼에는 최대 1100mm/s의 속도로 최대 300mm 직경의 대형 웨이퍼를 검사 할 수있는 고속 비접촉 (non-contact) 검사 헤드가 장착 된 모바일 플랫폼이 포함됩니다. SIR 3000 은 또한 결함, 오염 물질, 기타 불규칙성을 감지하기 위해 설정할 수있는 다양한 자동화 (automated) 프로세스를 제공합니다. 이러한 프로세스에는 고대비, 스트레이션, 결함 감지, 수율 향상 및 프로세스 모니터링이 포함됩니다. SEIKO SIR 3000의 고급 구성 요소에는 고급 픽셀 비닝 (binning) 기술이 적용된 고해상도 카메라가 포함되어 있습니다. 이 카메라는 진정한 8 비트 색상으로 이미지를 캡처하여 독보적인 해상도와 결함 감지 기능을 제공합니다. 또한, 이 장치는 최고 품질의 이미지를 캡처하기 위해 이미징 영역의 모든 왜곡을 수정하는 파면 수차 (wavefront aberration) 교정을 특징으로합니다. SIR 3000은 강력한 이미지 라이브러리를 사용하여 검사 과정에서 얻은 마스크 및 웨이퍼 데이터를 저장합니다. 이 라이브러리는 다른 검사의 이미지를 비교하여 비정상적인 변경 사항을 감지하고 결함 패턴 (Defect Pattern) 을 식별하여 문제가 되기 전에 잠재적인 문제를 감지하는 데 사용할 수 있습니다. SEIKO SIR 3000의 이미지 및 비디오 처리 기능은 웨이퍼 패턴 분석 (wafer pattern analysis) 및 결함 감지를 위한 다양한 도구를 제공합니다. 즉, 통합 프레임 그래버 (grabber) 기술을 통해 이미지를 실시간으로 캡처하여 다양한 디바이스로 전송할 수 있으므로 여러 이미지를 빠르고 효율적으로 평가할 수 있습니다. 이 기계는 또한 마스크/웨이퍼 이미지를 손쉽게 검토하고 조작할 수 있는 대화식 도구를 갖추고 있습니다. SIR 3000은 고품질 반도체 프로세싱을 위해 강력한 성능, 사용자 친화적 운영, 직관적인 그래픽으로 설계되었습니다. 이 도구는 가장 작은 결함까지도 감지할 수 있는, 빠르고 정확한 결과를 제공합니다. SEIKO SIR 3000은 반도체 생산에 이상적인 자산으로, 최고의 정확성과 속도를 제공합니다.
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