판매용 중고 SEIKO SIR 3000 #9105307

SEIKO SIR 3000 (SIR 3000) 은 현대 반도체 제조 공정의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 에 포함된 미세 선 패턴 (fine line pattern) 및 분리 회로 (isolated circuit) 와 같은 패턴의 정확한 측정 및 결함을 식별할 수 있습니다. 이 장치의 검사 메커니즘은 고급 서피스 이미징 머신을 사용하여 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 의 서피스 피쳐를 정확하게 캡처, 측정 및 검사하는 것으로 시작됩니다. 그러면 이 도구는 광학 기술을 사용하여 캡처한 이미지를 "좋은" 참조 이미지와 비교할 수 있습니다. SIR 3000의 이미징 에셋은 또한 유전체 두께 및 기타 기능을 결정하는 데 사용될 수있는 선폭 (linwidth), 분리된 회로 (isolated circuit) 및 3D 구조 레이아웃 (3D structural layout) 과 같은 표면 피쳐를 측정합니다. 이 모델을 사용하면 스크래치, 서피스 거칠기, 가우징 (gouge) 과 같은 서피스 및 기하학적 결함을 검사할 수도 있습니다. 이 장비에는 일괄 처리 이미지 (batch image creation) 및 이미지 비교 도구가 포함되어 있어 신속한 결함 식별이 가능합니다. 높은 배율 광학 기능을 통해 마스크 또는 웨이퍼 내의 결함을 실시간으로 감지할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 마스크 결함 검사 및 문자 등급과 함께 웨이퍼 레벨 결함 검사를 제공합니다. 또한 SEIKO SIR 3000 은 다양한 로그 기반 분석 툴을 제공하여, 운영자에게 이미지 보정 결과를 손쉽게 분석, 조정할 수 있는 기능을 제공합니다. 뒷면 이미지 검사는 외래 입자와 같은 기능을 검출하는 데에도 사용될 수 있습니다. SIR 3000 에는 자동화 향상 소프트웨어, 결함이 있는 웨이퍼 (wafer) 농도 향상 등 다양한 소프트웨어 업그레이드가 제공됩니다. 또한 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 와 최대 1000 개의 이미지와 측정을 저장할 수 있는 내장 데이터베이스를 갖추고 있습니다. 세이코 SIR 3000 (SEIKO SIR 3000) 은 마스크 및 웨이퍼 검사와 관련하여 필요한 정확성을 달성하는 데 필수적인 도구입니다. 상세한 분석 및 빠른 결과를 제공하므로, 제조업체가 운영 프로세스의 작동 여부를 실시간으로 알 수 있습니다. 이 기계의 첨단 기술 (Advanced Technologies) 은 사용자 친화적 인 기능과 결합되어 오늘날 시장에서 마스크 및 웨이퍼 (Wafer) 검사를위한 최고의 시스템 중 하나입니다.