판매용 중고 SDI SPV / PDM 3020 #9042454

SDI SPV/PDM 3020은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 생산을위한 종합적이고 정교한 검사 도구를 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 4 가지 주요 구성 요소 (자동 웨이퍼 검사 시스템, 자동 마스크 검사 장치, 패널 검사 기계 및 수동 검사를 지원하는 수동 구성 요소) 가 포함됩니다. 자동화된 웨이퍼 검사 도구는 다양한 센서와 이미징 기술을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 의 크기, 모양, 결함 밀도, 전기 기능 등의 특성을 감지하고 측정합니다. 오류, 이상 및 포함을 감지 할 수 있습니다. 이어서, 자산에 의해 생성되는 데이터를 분석하여 어떠한 불일치 (discrepancies) 도 파악하고 운영 실행 (production run) 의 수익률을 결정하는 데 도움이 된다. 자동 마스크 검사 모델은 변형, 지형, 결함 등 자세한 마스크 분석을 제공합니다. 불균일 성, 어두운 알갱이 결함, 가벼운 오염 결함, 핀홀, 임계 치수 오류 등 다양한 오류를 감지 할 수 있습니다. 패널 검사 (Panel Inspection) 장비는 패널 또는 격리된 장치에 대한 광범위한 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 성능 특성, 전원 보정, SPC (Statistical Process Control) 및 항복 분석에 대한 측정이 포함됩니다. 시스템의 수동 컴포넌트는 마스크 품질, 공구 평가, 웨이퍼 매핑에 대한 현미경 기반 분석 등의 포괄적인 검사 기능을 제공합니다. 브라이트 필드 및 다크 필드 검사, 스캐닝 전자 현미경, 반사 기술, 원자력 현미경 등과 같은 고급 현미경 기술을 사용합니다. 요약하면, SPV/PDM 3020 마스크 및 웨이퍼 검사 장치는 높은 정확도 표준으로 마스크와 웨이퍼에 대한 포괄적이고 정확한 분석을 제공합니다. 이 기계는 다양한 오류 및 이상 현상을 감지하여 수율 성능 (yield performance) 을 높일 수 있습니다. 또한 항복 분석, 프로세스 제어 및 성능 특성에 대한 자세한 측정도 제공합니다.