판매용 중고 RUDOLPH WV 320 #9373222
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RUDOLPH WV 320 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 웨이퍼 및 반도체 마스크의 빠르고 정확한 도량형을 위해 설계된 검사 솔루션입니다. 이 시스템은 광학-기계 어셈블리, 카메라, 소프트웨어로 구성되며 신뢰할 수 있고, 재현 가능하며, 자동화된 측정값을 제공합니다. 이 장치는 2 차원 그리드 스캔으로 웨이퍼와 마스크를 측정 할 수 있으며, 동력화 된 스테이지로 웨이퍼를 이동하고 최대 50 미크론을 마스크 할 수 있습니다. 이 기계에는 매우 정확한 도량형 측정을 제공하는 초고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. 사용자가 카메라를 3.2mm에서 63mm로 이동할 수 있도록 조정 가능한 시야가 있습니다. 카메라는 1차원, 2차원, 관심 영역 스캔과 같은 여러 이미지 획득 모드를 지원합니다. 사용자가 측정 프로세스를 관리할 수 있는 다양한 기능을 제공하는 소프트웨어 (Software) 제품군입니다. 소프트웨어 제품군에는 웨이퍼 데이터 모델 편집기, 데이터 획득 모듈, 도량형 모듈, 자동화 모듈이 포함됩니다. 데이터는 3x3 격자선 스캔, 선형 스캔, 선형 스캔 등 원하는 변형에서 얻을 수 있습니다. 데이터 취득 모듈을 사용하면 포토마스크, 웨이퍼, CAD 드로잉, 스펙트럼 등 다양한 소스에서 데이터를 가져올 수 있습니다. 도량형 모듈은 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스 및 항복 분석을 제공합니다. 자동 모듈을 사용하면 3D 격자 스캔, 공간 스캔, 결함 감지 등 반복적인 측정에 대한 측정 프로세스를 프로그래밍하고 자동화할 수 있습니다. RUDOLPH WV320 마스크 및 웨이퍼 검사 도구는 반도체 마스크 및 웨이퍼에 대한 강력하고 신뢰할 수있는 검사 솔루션입니다. 이 자산은 초고해상도 CCD 카메라 (CCD 카메라) 와 자동화된 도량형 (Metrology) 및 결함 감지를 지원하는 고급 도량형 소프트웨어를 통해 정확하고 반복 가능한 측정을 제공합니다. 이 모델은 실시간 사용자 피드백 (feedback) 및 자동화된 데이터 획득을 통해 복잡한 검사 프로젝트를 처리할 수 있습니다. 장비는 빠르고, 정확하며, 안정적이며, 사용자에게 반도체 마스크와 웨이퍼를 검사하고 확인할 수 있는 효과적인 도구를 제공합니다.
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