판매용 중고 RUDOLPH WV 320 #9248810

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ID: 9248810
웨이퍼 크기: 12"
Macro defect inspection system, 12" (2) BROOKS Loadports with FOUP Loadports carrier reader: RFID Type YASKAWA Robot Light source: Head: 20 um Xenon flash lamps Wavelength range: 480-750 nm Resolution: Above 25 um Function: YVS Server 3D Defect image generation Auto Defect Classification (ADC) function.
RUDOLPH WV 320은 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 제조 공정에 사용되어 웨이퍼 처리 (wafer processing) 의 결함을 감지하고 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 생산 비용을 줄이고 제품 품질을 높이는 데 도움이됩니다. 이 장치는 고급 스캔 이미징 기술을 기반으로 한 3 축 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다. 견고하고 정확한 2 차원 스캐닝 기능뿐만 아니라 확대 제어 도구를 갖춘 고급 자동 단계 (automated stage) 메커니즘이 포함되어 있습니다. 자산은 다양한 자동 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사를 수행 할 수 있습니다. 패턴 불일치, 입자 및 기타 표면 불규칙성과 같은 submicron 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 모델은 오염 물질 또는 데루바 미스 검사 (deruba mis-inspection) 로 인한 웨이퍼에 결함 인쇄를 탐지 할 수도 있습니다. 장비는 검사 할 웨이퍼 유형에 따라 200mm ~ 400mm 범위의 영역을 스캔 할 수 있습니다. 통합 확대/축소 제어 시스템을 사용하면 이미지를 실시간으로 정밀하게 확대/축소하고 회전하여 검사 정확도를 높일 수 있습니다. 고급 화면 측정 기능을 통해 연산자는 사용하기 쉬운 마우스 클릭을 사용하여 결함 크기를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 장치에는 4K 해상도를 제공하는 트루 컬러 디스플레이 (True Color Display) 도 장착되어 있어 풍부하고 상세한 이미지를 얻을 수 있습니다. 기계는 사용자 친화적이며 쉽게 작동 및 유지 관리할 수 있습니다. 이 도구는 직관적인 사용자 인터페이스를 특징으로하며, 샘플 패턴, 조명 설정, 측정 기준, 마스크 수용 기준 등의 사전 구성된 광범위한 라이브러리 (라이브러리) 를 제공합니다. 이렇게 하면 빠르고 정확한 설정 시간과 최적의 제어가 가능합니다. 이 자산은 또한 기본 제공되는 FITS 기능으로, 아카이빙 및 추적 검사 작업을 수행할 수 있습니다. 이 기능을 통해 운영자는 데이터를 디지털 (digital) 형태로 저장하고 신속하게 결함을 리콜하여 비교할 수 있습니다. RUDOLPH WV320 마스크 및 웨이퍼 검사 모델은 웨이퍼 생산에 대한 최고 수준의 정확성과 반복 성을 보장하기위한 효과적인 솔루션입니다. 고급 자동 단계 메커니즘, 확대 제어 장비, 직관적인 사용자 인터페이스, 견고한 True Color Display를 통해 가장 까다로운 반도체 어플리케이션을 위한 탁월한 품질 관리 기능을 제공합니다.
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