판매용 중고 RUDOLPH SWS #9378745

RUDOLPH SWS는 RUDOLPH Technologies, Inc.의 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 시스템은 반도체 직물 (semiconductor fabs) 에 사용하도록 설계되었으며, 여기에는 마스크 및 웨이퍼 검사의 까다로운 작업에 대한 자동화된 솔루션이 제공됩니다. SWS 는 정교한 조명 및 광학 장치 (Optics) 와 고급 소프트웨어 알고리즘 (Software Algorithm) 을 결합하여 제조 과정에서 문제가 발생할 가능성이 있는 웨이퍼 (Wafer) 또는 마스크 (Mask) 의 불완전성을 감지합니다. 마스크 & 웨이퍼 검사 프로세스의 첫 번째 단계는 웨이퍼 스캔 (wafer scan) 인데, 로봇 암을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 표면 위에 카메라를 빠르고 정확하게 배치하고 반사율 (reflectance), 표면 지형 (surface topography), 표면과 마스크 사이의 결합 에너지와 같은 데이터를 동시에 수집합니다. 이 초기 "웨이퍼 '검사 는 상세 한 지도 를 만들어 내는데, 이 지도 는 표면 에서 발생 할 수 있는 결함 을 탐지 하는 데 사용 할 수 있다. 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스의 두 번째 단계는 마스크 자체에서 결함 또는 불규칙성을 검사합니다. "마스크 '는" 테이블' 위에 "페이스 다운 '으로 배치되고 특수 카메라는" 이미지' 에 이상이 있는지 스캔한다. 이것 은 반사 된 빛 과 현미경 의 혼합물 로 이루어져 있으며, 이것 은 가장 미약 한 "불완전성 '까지도 검출 된다. "마스크 '와" 웨이퍼' 검사 과정 의 세 번째 단계 에는 "마스크 '와 실제" 웨이퍼' 의 비교 가 수반 된다. 루돌프 SWS (RUDOLPH SWS) 는 정교한 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 두 이미지를 비교하고 마스크의 모양과 실제 웨이퍼의 모양 사이의 불일치를 감지합니다. SWS 는 어떠한 불일치도 찾아야 할 경우, 장애를 강조하고, 주의가 필요한 곳에 있는 인적 (human-inspector) 에게 알릴 수 있습니다. 마지막으로, 마스크 & 웨이퍼 검사의 4 단계는 결과에 대한 검토를 수반합니다. RUDOLPH SWS (RUDOLPH SWS) 는 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스에 대한 자세한 3D 보고서를 생성할 수 있으며, 확인된 문제에 대한 자세한 개요를 제공합니다. 이로써, 인간 검사관 들 은 그 들 이 해결 해야 할 문제 들 을 신속 히 식별 하여, 제조 공정 에 대한 통찰력 을 얻고, 생산량 을 향상 시키는 데 도움 을 줄 수 있게 된다. "깨어라!" 반도체 패브가 마스크· 웨이퍼 (wafer) 검사 프로세스를 자동화하고, 수작업 (manual inspection) 에 비해 정확도가 훨씬 높은 전체 웨이퍼에 대한 개요를 얻을 수 있게 해 주는 인상적인 시스템이다. 이는 제조 공정의 최적화 및 생산량 향상을위한 뛰어난 기회를 제공합니다.