판매용 중고 RUDOLPH / ONTO INNOVATION WV 320 #9379823

RUDOLPH/TO INNOVATION WV 320은 전문 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 웨이퍼, 마스크 및 레티클 측정 및 검증을 위해 매우 정확한 광학 검사를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 초정밀 광학, 반도체 및 기타 산업 및 의료 응용을위한 광학 민감성 기판 (optically sensitive substrate) 의 생산에 매우 유용합니다. 이 고급 검사 장치에는 10 인치 스크린 및 레이저 스캔 현미경이 포함됩니다. 내부 다중 축 동작 머신 (multiple-axis motion machine) 은 샘플의 자동 이미징 및 정확한 정렬을 가능하게 합니다. 고급 동작 도구 (Advanced Motion Tool) 를 사용하면 이미징 에셋에 대한 샘플을 지속적으로 정렬하고 배치할 수 있으므로 수율 측정치가 높고 품질이 향상됩니다. RUDOLPH WV 320은 가시 파장에서 자외선까지 다양한 파장에서 작동하며, 웨이퍼 프론트 사이드, 뒷면, 측벽 및 테스트 패턴의 정확한 이미징 및 측정을 위해 작동합니다. 이 모델은 패턴 배치 및 비표준 구조 및 모양 (예: 유전체 레이어, 핀 홀, 마이크로 구조) 에 대한 결함 검사에 특히 효과적입니다. 또한, 장비에는 선 너비, 간격, 오버레이, 인쇄 가능성 등의 피쳐를 정확하게 측정하는 고급 측정 도구 세트가 포함되어 있습니다. ONTO INNOVATION WV 320과 통합된 소프트웨어는 사용자 친화적이며, 많은 검사 등록 방법을 포함합니다. 이를 통해 샘플 이미지에 대한 빠른 분석, 보다 일관된 감독 기준 (Oversight Criteria) 을 얻을 수 있습니다. 이 소프트웨어는 자동 검토 (Automatic Defect Review) 도 지원하므로 수동 검사 단계가 필요하지 않으며, 운영 라인 성능이 더욱 향상됩니다. 또한, 사용자는 WV 320에서 가져온 이미지를 신속하게 조정, 크기 조정, 편집할 수 있는 고급 데이터 조작 (advanced data manipulation) 애플리케이션이 포함되어 있습니다. 이 사용자 친화적인 응용 프로그램은 이미지를 자동으로 저장하고 익스포트하여 추가 분석 또는 인쇄할 수 있습니다. RUDOLPH/INTO INNOVATION WV 320은 정확하고 자동화된 분석을 제공하여 생산 라인이 더 높은 수준의 성능에 도달 할 수 있도록 지원하는 고급 Mask & Wafer Inspection 장치입니다. 고급 모션 머신 (motion machine), 고수준 해상도 (high-level resolution), 사용자 친화적 소프트웨어 (user-friendly software) 를 갖춘 이 도구는 산업 및 의료 분야에 대한 높은 정확도의 광학 검사가 필요한 산업에 적합합니다.