판매용 중고 RUDOLPH / ONTO INNOVATION WHS220 #293585586
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RUDOLPH/ON INNOVATION WHS220은 웨이퍼 및 마스크 검사를 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 표준 Intel Core i5 프로세서로 구동되며, 이미지 프로세서, 더 큰 RAM, 더 많은 하드 드라이브 공간과 같은 추가 전용 하드웨어로 쉽게 업그레이드하여 성능을 향상시킬 수 있습니다. RUDOLPH WHS220은 Windows 10 Pro 운영 체제와 안정적이고 반복 가능한 검사 결과를 보장하는 강력한 하드웨어 플랫폼을 기반으로합니다. 이 장치는 진동 단계를 특징으로하며, 검사 할 쿼츠 웨이퍼가 배치됩니다. 스테이지는 X, Y 및 Z 축을 따라 단계를 동시에 이동시키는 고급 팬케이크 스테퍼 모터 (Advanced Pancake Stepper Motor) 에 의해 구동되며, 기계는 전체 웨이퍼 표면을 횡단하고 해당 기능과 관련된 데이터를 캡처 할 수 있습니다. 또한 "스테이지 '는 검사 주기 에" 웨이퍼' 의 특징 을 "카메라 '위 에 정확 하고 반복 하여 정렬 하도록 한다. ON INNOVATION WHS220은 광학 검사 기술과 고정밀 상업용 카메라를 통합하여 웨이퍼 (wafer) 기능의 이미지를 수집합니다. 최적의 이미징 (imaging) 조건을 보장하기 위해, 밝은 원격 중심 조명 도구가 사용되며, 이는 전체 단계와 시야에서 조명을 제공합니다. 그런 다음 이미지 처리 (image-processing) 알고리즘은 피쳐의 크기와 형태를 분석하여 각 개별 요소의 정확성을 결정합니다. WHS220에는 다이 및 마스크를 검사하도록 설계된 통합 마스크 검사 모듈도 있습니다. 5 축 로봇 암은 마스크 검사를 위해 다이를 스테이지에 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 에셋에는 밝은 LED (Cold Light-Emitting Diode) 조명기와 6 메가 픽셀 상업용 카메라가 포함되어 있으며, 이 카메라는 미리 정의된 패스/장애 기준 세트와 비교하여 마스크의 개별 요소의 정확성을 평가합니다. RUDOLPH/ON INNOVATION WHS220은 빠르고 정확하며 반복 가능한 결과를 제공하기 때문에 쿼츠 웨이퍼와 마스크 모두에서 결함을 감지하는 이상적인 도구입니다. 이 모델은 기술자, 연구원 및 기타 사용자를 위해 설계된 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 또한, 다른 프로세스와 쉽게 통합 할 수있는 창 기반 플랫폼에서 실행됩니다. 정확도 및 성능 향상을 위해 추가 하드웨어/소프트웨어 옵션 (요청 시 사용 가능) 을 통해 장비의 사용자 정의가 매우 뛰어납니다.
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