판매용 중고 RUDOLPH / ONTO INNOVATION WHS220 / Axi-940b #9394722
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ID: 9394722
빈티지: 2009
Macro defect inspection system, 4"-6"
Wafer cassette
Monochrome inspection camera
Color review camera.
Robot with single arm
Pre-aligner and single OCR reader
Computer running with Windows 7
2009 vintage.
RUDOLPH/TO INNOVATION WHS220/Axi-940b는 4 가지 다른 기술 (광학 및 전자 현미경, 이미지 처리 및 소프트웨어 기반 자동화) 을 결합하여 고급, 정확하고 효율적인 검사 솔루션을 제공하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 자외선 투과 조명 (UV transmited light illumination) 을 사용하여 웨이퍼 표면의 오염 물질을 최소화하며, 이는 높은 화질을 유지하는 데 필수적입니다. 강력한 자동 웨이퍼 전송 장치 및 고급 소프트웨어 기반 자동화를 통해 RUDOLPH WHS220/Axi-940b는 많은 웨이퍼를 신속하게 스캔할 수 있으며, 기계의 통합 포지셔닝 툴은 정확하고 안정적인 웨이퍼 설정을 제공하여 정확한 검사를 제공합니다. 혁신 (OVO INNOVATION) WHS220/Axi-940b는 반도체 부품의 고품질 이미지를 캡처할 수 있는 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 자산을 통해 결함이 약간 감지됩니다. 이 모델은 넓은 동적 범위 (dynamic range) 에서 작동하여 이미지 세부 (image detail) 를 유지하면서 가장 복잡한 결함조차도 검사 할 수 있습니다. 다중 세그먼트 명암조정 (Multi-segmented Contrast Adjustment) 기술을 사용하여 이미지 노출 설정을 최적화하여 거의 완벽한 검사 정확도를 얻을 수 있습니다. 마스크 유형 및 제작 프로세스에 따라 RUDOLPH/ONTOWHS220/Axi-940b는 20nm 정도의 작은 마스크 크기와 1jm의 크기를 검사 할 수 있습니다. 또한 입자 불완전, 긁힘, 브리지 및 돌출과 같은 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 고속 자동 검사 (automated inspection) 를 통해 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. RUDOLPH/TO INNOVATION WHS220/Axi-940b는 또한 포괄적인 소프트웨어 도구를 제공하여 사용자 친화적 인 작동과 정교한 이미지 처리를 용이하게 합니다. 포함된 이미지 분석 소프트웨어를 사용하면 자동화된 검사 및 상세한 결함 특성화가 가능합니다. 이 소프트웨어는 또한 광범위한 통계 분석 (statistical analysis) 을 수행할 수 있으며, 제조 품질 제어에 적합합니다. 전반적으로 RUDOLPH WHS220/Axi-940b는 포괄적이고 안정적이며 사용하기 쉬운 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 최고의 광학 및 전자 현미경, 이미지 처리 기술, 자동화 자동화 (automated automation) 를 결합하여 정확하고 빠른 속도로 검사하며, 전통적인 수동 검사 방법을 훨씬 능가합니다. 따라서 결함을 신속하고 정확하게 파악할 수 있고, 제조 프로세스를 효과적으로 관리하여 생산량 및 비용 절감 효과 (BCO) 를 높일 수 있습니다.
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