판매용 중고 RUDOLPH NSX 115D1 #9260012

RUDOLPH NSX 115D1은 정확하고 안정적인 포토 마스크/레티클 정렬 및 정확성을 제공하도록 설계된 첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 마스크 또는 웨이퍼 조작을위한 2 개의 독립적으로 구동되는 XY 단계 (고속 정렬), 다양한 확대를위한 다양한 렌즈 옵션, 정밀 각도 측정 및 중심 및 검사 프로세스의 최고 정확성을 보장하는 기타 기능이 있습니다. NSX 115D1 은 다양한 마스크와 웨이퍼를 신속하게 검사할 수 있습니다. 이 장치에는 X 축과 Y축의 두 가지 동작 축이 있으며, 최대 600mm × 800mm의 동적 이미지 캡처 범위를 제공합니다. 이 기계는 집적 회로 제조 공정에 사용되는 다양한 포토 마스크 (photomask) 와 레티클 (reticle) 의 정확한 위치 지정 및 고정밀 정렬을 제공 할 수 있습니다. RUDOLPH NSX 115D1은 2 개의 동작 축 외에도 1/3X에서 16X까지 다양한 확대를위한 다양한 렌즈 옵션을 제공합니다. 따라서 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 높은 배율로 검사할 수 있는 유연성과 최고 수준의 정확도를 유지할 수 있다. 또한 검사된 마스크나 웨이퍼를 보다 정확하게 정렬할 수 있도록 각 편차 (각도 편차) 를 최대 1도 정밀도까지 측정할 수 있습니다. 최고의 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해 NSX 115D1 에는 자동 초점 (auto-focusing) 및 측정 후 (post-measurement) 기능이 포함되어 있습니다. 자동 초점 기능은 공압 에셋을 사용하여 자동으로 최상의 이미지 뷰를 가져옵니다. 이렇게 하면 "마스크 '와" 웨이퍼' 사이 에 가장 적합 한 정렬 이 꾸준 하고 정확 하게 결정 된다. 한편, 사후 측정 (post-measurement) 기능은 검토 및/또는 향후 참조를 위해 저장 및 액세스 할 수있는 다중 매개변수 보고서를 제공합니다. 마지막으로, RUDOLPH NSX 115D1에는 사용자에게 쉽게 작동 할 수있는 추가 기능이 포함되어 있습니다. 3차원 터치 스크린 디스플레이는 간단한 탐색을 위해 설명적이고 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 모델은 또한 NSX 장비 운영 및 효율적인 문제 해결을 위한 지식 (knowledge to operating and efficient troubleshooting the NSX equipment) 을 갖춘 현장/온라인 과정으로 구성된 포괄적인 교육 프로그램을 제공합니다. 전반적으로 NSX 115D1 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템은 매우 정확하고 안정적인 포토마스크/레티클 (reticle) 정렬 및 정확성을 제공하는 이상적인 솔루션으로, 마스크와 웨이퍼를 검사하고 정렬하는 간단하고 효과적인 방법을 제공합니다.