판매용 중고 RUDOLPH NSX 115 #9212440

RUDOLPH NSX 115는 think-through optoelectronic 솔루션의 리더 인 RUDOLPH의 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. NSX 115 는 반도체 업계의 각종 자재/애플리케이션에 대한 중요한 검사 기능을 제공합니다. 첨단 이미징 광학 시스템을 사용하여 장치 형상의 미묘한 차이를 감지하거나 (0.2um까지) 결함을 감지합니다. RUDOLPH NSX 115는 검사 프로세서 장치 (Inspection Processor Unit) 와 AccuVision 클라우드 처리 (AccuVision Cloud Processing) 의 두 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있으며, 이를 통해 포괄적인 결함 감지 및 분석 기능을 제공합니다. 검사 프로세서 머신 (Inspection Processor Machine) 은 카메라, 데이터 처리 도구, 데이터 획득 및 처리 작업을 지원하는 기타 하드웨어 구성 요소를 포함하는 통합 하드웨어 플랫폼입니다. AccuVision 클라우드 프로세싱 (Cloud Processing) 자산을 사용하면 실시간 이미지 처리 및 기능을 통해 애플리케이션의 요구 사항을 상세하게 파악할 수 있습니다. NSX 115 는 하이엔드 운영 회선을 위해 설계되었으며, 결함 및 패턴 측정을 위해 100% 의 웨이퍼와 마스크 (mask) 를 빠르고 정확하게 스캔할 수 있습니다. 자동 레이저 삼각 측량 도구 (automated laser triangulation tool) 는 부품의 임계 치수를 정확하게 측정하는 반면, 고충실도 알고리즘은 마스크와 웨이퍼 서피스 모두에 대해 빠르고 정확한 결함 감지 및 분류를 수행합니다. RUDOLPH NSX 115의 속도 및 정확도 조합은 동적 데이터 분석 기능으로 더욱 보완됩니다. 이 모델은 여러 개의 검사 유형을 하나의 분석 (single analysis) 으로 결합할 수 있으며, 칩 제조업체 클라이언트가 운영 프로세스에 대한 가시성과 제어가 향상되었습니다. 장비의 상세한 결함 분석에서 수집된 데이터는 통계적 프로세스 제어 모듈 (Statistical Process Control Module) 에 공급될 수 있으며, 결함 감지 프로세스를 효과적으로 간소화하고, 생산 프로세스가 고객/업계 표준을 준수하도록 합니다. 또한 NSX 115 는 기술 기능 외에도 사용자 친화성을 염두에 두고 설계되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 쉽게 연산자를 훈련시킬 수 있으며 최소한의 설정 (Setup) 및 조정 (Calibration) 시간으로 시스템이 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 자가 모니터링 (Self Monitoring) 및 유지 보수 (Maintenance) 기능을 통해 장치가 최대 상태로 유지되며 업무 중단을 최소화하면서 작업을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 RUDOLPH NSX 115는 반도체 산업의 마스크, 웨이퍼 검사 및 분석을위한 포괄적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 즉, 모든 운영 라인에서 최고 수준의 품질과 정확성을 보장하는 고급 이미징/분석 기능을 갖춘 사용자에게 강력한 성능을 제공합니다. 지오메트리 확인, 오류 감지, 복잡한 검사 등을 위한 제품이든, NSX 115 는 강력하고 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.