판매용 중고 RUDOLPH NSX 105 #9412393

RUDOLPH NSX 105
ID: 9412393
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2008
Inspection system, 8", parts machine 2008 vintage.
RUDOLPH NSX 105는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고성능 및 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 루돌프 NSX-105 (RUDOLPH NSX-105) 는 포토 마스크 및 웨이퍼 재료와 관련된 결함뿐만 아니라 라인 및 공간 패턴의 결함을 신속하게 감지하도록 설계되었습니다. NSX 105 는 2 개의 widefield Objective Lense 와 2 개의 Telecentric Imaging Lense 로 구성된 강력한 광 구성을 사용합니다. 이 시스템은 기계의 움직임과 초점을 조절하는 Angenieux 확대/축소 광학 장치 (Angenieux zooming optics unit) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 기계의 정확한 광학 초점이 가능합니다. 또한 NSX-105 는 결함을 감지하는 데 민감성을 향상시키는 다크필드 어레이 조명 툴 (darkfield array lumination tools) 과 광범위한 배율에 걸쳐 일관되게 집중할 수 있는 텔레센트릭 (telecentric) 구성을 제공합니다. RUDOLPH NSX 105에는 사용자 친화적이고 직관적인 고해상도 컬러 터치스크린이 장착되어 있습니다. 사용이 간편한 이 인터페이스를 통해 검사 프로세스의 매개변수 (예: 결함 크기, 유형) 를 신속하게 설정할 수 있습니다. 이 자산은 또한 칩의 넓은 영역을 손쉽게 조사 할 수있는 넓은 시야 (field of view) 를 자랑합니다. 루돌프 NSX-105 (RUDOLPH NSX-105) 는 다양한 고해상도 센서와 조명 기술을 활용하여 웨이퍼와 마스크의 결함을 신속하게 감지하고 프레임으로 만듭니다. 다재다능한 탐지 모드는이 모델을 모든 종류의 결함을 감지 할 수있게합니다. 입자, 렌즈 가장자리 회절, 브리징, 마링, 다공성 및 에칭과 같은. 또한 NSX 105는 "풀 필드 (full-field)" 스캔닝으로 알려진 평면 표면의 100% 를 빠르게 병렬 검사할 수 있습니다. NSX-105 는 또한 포괄적인 재생 (replay) 분석 패키지를 제공하며, 이 패키지는 감지된 모든 결함의 전체 기록을 유지합니다. 이렇게 하면 시간 (time) 에 따른 결함의 효율적이고 정확한 추적이 가능해지며, 웨이퍼의 결함을 찾는 데 도움이 됩니다. RUDOLPH NSX 105는 의심 할 여지없이 시장에서 가장 신뢰할 수있는 Mask & Wafer Inspection Systems 중 하나입니다. 고해상도 센서, 조명 기술, 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스 (TouchScreen Interface), 넓은 시야 (Field Of View) 와 함께 모든 종류의 결함을 완벽하게 감지합니다. 따라서 루돌프 NSX-105 (RUDOLPH NSX-105) 는 포토 마스크 및 웨이퍼 재료를 빠르고 안정적으로 검사해야 하는 다양한 어플리케이션에 적합한 선택입니다.
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