판매용 중고 RUDOLPH NSX 105 #9373061
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ID: 9373061
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2008
Macro defect inspection system, 8", parts machine
2008 vintage.
RUDOLPH NSX 105는 프로덕션 어플리케이션을 위해 설계된 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 다방면의 광학 기술을 통합해 정확한 웨이퍼 (wafer), 마스크 (mask) 정렬, 결함 감지 등을 위한 종합적인 솔루션을 만드는 자동화된 검사 시스템이다. 이 장치는 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 사용하여 검사 (inspection) 매개변수를 설정하고 성능 절차를 검증합니다. 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 정렬 (mask alignment) 모두에 사용되는 온보드 현미경이있는 완전 자동 교정 루틴이 특징입니다. 통합 비전 머신은 웨이퍼와 마스크를 시각적이고 정량적으로 검사합니다. 이 도구는 고속 작동이 가능하며 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 검사 할 수 있습니다. 자산은 자외선 파장 (UV wavelength) 에 고급 스펙트럼 이미징 (spectral imaging) 및 결함 감지 기능을 제공하여 극도로 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 생산 중에 발생하는 핀홀, 긁힘, 얼룩, 표면 오염 등과 같은 미묘한 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한이 모델은 브라이트 필드 (brightfield) 및 다크 필드 이미징 기술을 사용하여 대조 및 결함 감지 기능을 강화합니다. RUDOLPH NSX-105에는 또한 패턴 일치 (pattern matching), 스레드 커버리지 (thread coverage), 이미지 분할 (image segmentation) 등과 같은 여러 이미지 인식 도구가 포함되어 있습니다. 각기 다른 검사 작업에 최적화하기 위해 다양한 광 구성 요소로 장비를 구성할 수 있습니다 (영문). 또한 직관적인 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 를 통해 쉽게 작동하고 유지 관리할 수 있습니다. NSX 105 는 다양한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치로, 높은 정확도와 속도를 제공합니다. 이 제품은 다양한 결함 유형을 빠르고 정확하게 감지해야 하는 고정밀 (high-precision) 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 시스템은 신뢰성이 높으며, 가장 까다로운 운영 환경을 처리하도록 설계되었습니다.
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