판매용 중고 RUDOLPH AXI-935D #9385106

RUDOLPH AXI-935D는 반도체 산업을 위해 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 의 결함 을 탐지 하고 분석 하는 데 도움 이 되는 종합 "시스템 '이다. 이 장치는 렌즈 시스템, 레이저 간섭 현미경 및 고해상도 이미지를 캡처 및 분석하는 데 도움이되는 기타 광학 (optics) 과 같은 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 기계에는 마스크 또는 웨이퍼를 기계적으로 또는 모터 제어 피드 (motor-controlled feed) 를 통해 이동할 수있는 정밀 동작 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한 360도 이미징을 위해 오브젝트를 회전시킬 수있는 스테이지가 있습니다. 이 도구는 기존 2D 이미징 및 고급 3D 이미징을 모두 지원하도록 설계되었습니다. 전체 내부 반사 (total internal reflection), 에피 조명 (epi-illumination), 어두운 필드 (dark field) 및 비스듬한 보기 (oblique viewing) 와 같은 광범위한 이미지 획득 방법을 사용할 수 있으며 10nm 해상도로 이미지를 얻을 수 있습니다. RUDOLPH AXI 935D의 하위 시스템은 영향을 받은 영역을 식별하기 위해 결함을 분석하고 이전에 획득 한 "골든 이미지 (golden image)" 와 비교하도록 설계되었습니다. 크기가 0.2 미크론까지 떨어지는 결함을 감지할 수 있으며, 크기, 종횡비, 명암비, 강도 등의 결함에 대한 정확하고 신뢰할 수 있는 정보를 제공할 수 있습니다. 또한 AXI 935 D 에는 이미지 데이터를 분석하고 심각한 결함 매개 변수를 추출하는 포괄적인 이미지 처리 툴 세트가 포함되어 있습니다 (영문). 이러한 도구는 결함을 파악하고 백그라운드 제한으로부터 분리하는 데 도움이 됩니다. 또한 프로세스 결함을 파악하고, 수익률 손실을 결정하며, 프로세스 장애를 일으킬 수 있는 심각한 결함을 파악하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 고급 결함 필터링 (advanced defect filtering), 결함 분류 (defect classification), 고급 패턴 인식 (advanced pattern recognition) 과 같은 기능을 추가하여 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하도록 자산을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 모델은 모듈식이며, 배율 렌즈 (Higher Magnification Lense) 또는 교체 가능한 광학 (Interchangable Optic) 과 같은 추가 구성 요소로 쉽게 업그레이드 할 수 있습니다. 요약하자면, AXI-935D 는 마스크/웨이퍼 검사에서 가장 높은 정확성과 생산성을 보장하도록 설계된, 안정적이고 다양한 마스크/웨이퍼 검사 장비입니다. 구성 능력이 뛰어나고, 쉽게 업그레이드할 수 있으며, 상세하고 정확한 결함 분석 기능을 제공합니다.