판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST XPORT #293644799

RUDOLPH/AUGUST XPORT는 정교하고 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 대규모 및 소규모 배치 생산 요구를 모두 처리하도록 설계되었습니다. X 선 산란, 광학 산란 측량 및 3D 프로파일 측정과 같은 고급 기능을 사용하여 비파괴 웨이퍼 검사 및 마스크 검사 기능을 제공합니다. 시스템의 XY 축 단계는 정확하고 안정적인 웨이퍼 및 마스크 포지셔닝을위한 강력한 선형 동력 단계입니다. 장치의 Z축을 사용하면 나노 미터 배율에서 정확한 높이 조정이 가능합니다. 고급 이미징 및 조명기 (illumination machine) 가 도구에 통합되어 해상도 0.25 ~ 0.75m로 3D 이미지 데이터를 정확하고 정확하게 얻을 수 있습니다. 통합 광학 자산은 세 가지 데이터 획득 모드 (표면 검사, 웨이퍼 및 마스크 검사) 가 가능합니다. 그림자 이미지; 3D 프로파일 데이터 획득. 또한 자동 표면 이미징 및 결함 분석을 제공합니다. 고급 스테이지 컨트롤을 위한 고성능 비전 (vision) 전자 모델과 이미징 (imaging) 및 측정 시스템 제어용 모델이 포함되어 있습니다. 통합 데이터 획득 (Integrated Data Acquisition) 소프트웨어는 모든 매개변수에 대한 간편한 액세스 및 제어 기능을 제공하며, 사용자가 이미지 데이터를 효과적으로 분석 및 추적할 수 있게 해 줍니다. 이 장비는 변화하는 고객 요구 사항 및 다양한 애플리케이션에 적응할 수 있습니다. 고객 사이트에 손쉽게 설치할 수 있으며, 서비스 팀 (Service Team) 이 완벽하게 지원합니다. AUGUST XPORT는 정확하고 고해상도 데이터 수집을 위한 정교한 마스크 웨이퍼 검사 시스템입니다. 고급 이미징 및 조명 장치, XY 및 Z축 스테이징, 고속 비전 전자 장치를 제공합니다. 직관적인 데이터 분석 (data analysis) 및 디스플레이 (display) 소프트웨어를 통해 시장에서 가장 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템 중 하나를 제공합니다.