판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST XPORT #293598220
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ID: 293598220
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Wafer inspection system, 12"
With auto handler
Robot
2010 vintage.
RUDOLPH/AUGUST XPORT는 단일 솔루션에서 모든 유형의 광학 광 마스크, 광전자 회로 보드 및 MEMS를 자동으로 검사 할 수있는 일체형 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. AUGUST XPORT는 다양한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 기술에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있는 완전 자동 검사 프로세스를 제공하여 레이아웃, 이미지, 매개변수에 대한 정밀도, 자동 측정 및 검사를 지원합니다. 따라서 비용을 절감하고 결함을 최소화하면서 생산성을 향상시킬 수 있습니다. RUDOLPH XPORT는 x- 선 검사 및 디지털 현미경을 사용하여 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. 최대 4um (4 백만 분의 1 미터) 의 해상도로 집적 회로, 실리콘 웨이퍼 및 LCD와 같은 다양한 광 미디어를 검사 할 수 있습니다. 이 제품은 정렬 오류, 작은 불규칙성 (small corrularities) 및 기타 생산 결함 (production defaw) 과 같은 다양한 결함을 감지할 수 있는 기능으로 설계되었습니다. 이 시스템은 프로그램 가능한 정렬 포인트와 디지털 현미경 (motion and contrast correction) 과 같은 기술을 제공하여 검사 시간을 대폭 단축합니다. XPORT 에는 또한 이미지 분석 (image analysis) 을 위한 고급 이미지 처리 모듈이 포함되어 있는데, 이 모듈은 패턴, 광학 결함, 마스크 레이아웃 (mask layout) 기능을 분석할 수 있으며 정확도가 높은 이상을 감지할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 장치 인터페이스 (user-friendly interface of the unit) 를 사용하여 검사 목록을 설정하고, 응용 프로그램에 따라 매개변수를 설정하고, 사용자정의 검사 템플릿을 생성할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 유연하게 작업할 수 있고, 특정 작업에 대해 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 검사 기능 외에도 RUDOLPH/AUGUST XPORT는 결함 이미지의 추적, 특성, 분석, 데이터 가져오기/내보내기 기능과 같은 데이터 분석 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 공구를 기존 워크플로우 환경과 통합하고, 다른 사람과 공유할 수 있는 검사 결과에 대한 상세 보고서 (Detailed Report) 를 내보낼 수 있습니다. 전반적으로, AUGUST XPORT는 매우 효율적이고 안정적인 자산으로, 마스크 및 웨이퍼 기술에 대한 고정밀 자동 검사 및 데이터 분석을 지원합니다. 집적 회로 (integrated circuit), 광전자 (optoelectronics), MEMS (MEMS) 테스트와 같은 다양한 산업과 애플리케이션에 적합합니다. 내장된 소프트웨어 및 하드웨어 구성 요소로, RUDOLPH XPORT는 사용자에게 자동 검사, 분석 및 추적을위한 완벽한 도구를 제공합니다.
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