판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST WV320 #9355365

ID: 9355365
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Macro inspection system, 12" 2005 vintage.
RUDOLPH/AUGUST WV320은 고급 반도체 제작에서 마스크와 웨이퍼 간의 완벽한 정렬을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 시스템은 고해상도, 2D CCD 비디오 카메라, 조명 및 광학 (optic) 을 사용하여 운영자가 마스크와 웨이퍼의 정렬을 분석 할 수 있습니다. 이 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치는 정확한 정확도로 200 나노미터까지 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 초점 조정 (focus adjustment) 의 필요성을 없애고 장치 검사 시간을 줄이는 독특한 디자인이 있습니다. AUGUST WV320은 마스크의 최대 3 축, 8 위치 미세 조정이 가능하며, 종합적인 웨이퍼 대 마스크 정렬 분석이 가능합니다. 이 시스템은 쉽게 작동할 수 있도록 단순하고 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공합니다. 이 도구의 첨단 FC (Fitted Compensator) 기술을 통해 어려운 정렬 상황에서도 정확한 데이터 획득 및 분석을 수행할 수 있습니다. 자동 확장 (auto-scaling) 에셋이 내장되어 있어 마스크 및 웨이퍼를 빠르고 정확하게 비교할 수 있으며, 이 기능을 통해 운영자가 패턴과 불연속성을 빠르고 쉽게 감지할 수 있습니다. 또한, 이 모델을 사용하여 웨이퍼의 결함 및 정렬 오류를 신속하게 식별할 수 있습니다. RUDOLPH WV 320은 검사 시간을 줄이고 프로세스 수율을 늘리는 신뢰할 수있는 도구입니다. 첨단 비디오 처리 알고리즘과 최첨단 조명 기능 (CCTV) 을 통해, 이 장비는 까다로운 정렬 상황을 빠르고 정확하게 분석할 수 있습니다. 이 시스템은 복잡한 웨이퍼 측정 (wafer measuration) 에서부터 마스크 패턴의 정확한 시각화 (visualization) 에 이르는 응용 분야에 적합하며, 모든 고급 반도체 제작에서 귀중한 자산입니다.
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