판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST WV320 #9350873
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RUDOLPH/AUGUST WV320은 반도체 웨이퍼와 마스크의 결함을 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 광학 현미경 (optical microscopy) 과 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 을 사용하여 웨이퍼나 마스크의 앞면과 뒷면을 검사합니다. 이 시스템은 입자, 선 결함, 구덩이, 반점 및 기타 불규칙성을 정밀하게 식별 할 수 있습니다. 광학 이미지는 최대 20 메가 픽셀 해상도로 캡처되어 상세하고 HD 이미지를 제공하며, 0.01 µm (10 nm) 의 작은 기능을 감지 할 수 있습니다. 또한 후면 조리개 이미징 (backside aperture imaging) 이 장착되어 있어 고대비 반사계 이미징 (high-contrast reflectometric imaging) 과 같은 고급 기능으로 웨이퍼를 자동으로 후면 검사할 수 있습니다. AUGUST WV320에는 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 수용 할 수있는 크고 조절 가능한 건설 공간이 있습니다. 사용자 친화적 인 GUI가 제공되며 터치스크린 컨트롤러로 제어됩니다. 또한 자동 웨이퍼 피더 (automated wafer feeder) 를 사용할 수 있으므로 대형 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 검사할 수 있습니다. 이 장치에는 자동화된 결함 감지 장치 (automated defect detection machine) 가 포함되어 있어 빠르고 효율적인 처리를 위해 결함을 자동으로 감지하고 분류합니다. 이 도구는 입자, 선 결함, 구덩이, 반점 및 기타 피쳐와 같은 다양한 결함을 인식 할 수 있습니다. 에셋이 결함의 유형과 크기를 정확하게 분류할 수 있도록 하는 고급 (advanced) 알고리즘이 장착되어 있습니다. 마지막으로 RUDOLPH WV 320은 빠른 응답 자동 초점과 자동 확대/축소 기능을 제공합니다. 이를 통해 모델은 샘플의 변화 (예: 온도 또는 전압 변동으로 인한 변화) 에 신속하게 대응할 수 있습니다. 이를 통해 검사의 정확성과 신뢰성이 향상되고 장비의 전반적인 효율성이 향상됩니다 (영문). 요약하자면, WV320은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 고해상도 이미징 및 자동 결함 탐지를 통해 반도체 웨이퍼와 마스크를 검사할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 GUI, 자동 웨이퍼 피더, 빠른 자동 초점 및 자동 확대/축소 (auto-zoom) 등의 고급 기능을 통해 효율적이고 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다.
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