판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST WV320 #293706159
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RUDOLPH/AUGUST WV320 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체 웨이퍼의 결함을 검사하는 기계입니다. 이 다기능 시스템은 통합 결함 감지, 마이크로 포지셔닝, 웨이퍼 포커스 측정, 레티클 인식, 멀티 센서 이미징 등을 동시에 수행할 수 있습니다. 이 기계는 프로그래밍 가능한 조명 모듈 (programmable illumination module) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 모든 수율 개선 프로세스에 대해 정확한 조명 패턴을 설정할 수 있습니다. AUGUST WV320은 강력한 검사 엔진을 사용하여 빠른 스캔 속도와 높은 처리량을 제공합니다. 뛰어난 반복성과 정확성을 제공하는 강력한 DSP 기반 제어 프로세스 모듈이 장착되어 있습니다. 10 ~ 15 KHz (이미지 캡처 속도), 온보드 진단 (진단) 을 통해 결함을 진단하고 해결하고 고품질 완성된 제품을 확인합니다. 8 월 200 일은 패턴 화 된 웨이퍼 표면의 특징과 결함을 포함하여 웨이퍼에 마스크 패턴을 직접 이미징합니다. 이미징 (Imaging) 소프트웨어는 처리 알고리즘과 함께 지능형 인식 엔진 (Intelligent Recognition Engine) 을 만들어 웨이퍼와 마스크를 정확하게 검사합니다. 또한, 검사 장치는 기존의 크로모 생성 프리즘 기술 및 자동 초점 (auto-focus) 및 이미지 분석 (image analysis) 을 포함한 고급 패턴 인식 기술과 호환됩니다. RUDOLPH 200은 또한 조정 가능한 전류를 가진 웨이퍼 스핀 구조를 갖추고 있습니다. 이는 가변 속도 (variable speed) 에서 부드러운 스핀을 보장하며, 다양한 어플리케이션에서 최고 품질의 만족도를 제공합니다. 이 시스템에는 실시간 진단 소프트웨어 (실시간 진단 소프트웨어) 도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 웨이퍼 상태를 정확하게 측정하고 분석하고 빠른 피드백 (feedback) 및 디버깅 옵션을 제공하는 데 사용됩니다. RUDOLPH WV 320의 전체 설계는 고객 요구 사항을 충족하고 엄격하게 충족하도록 최적화되었습니다. 이 툴은 신뢰성이 뛰어나며, 모듈식 하드웨어 설계 덕분에 서비스 및 업그레이드가 매우 간편합니다 (영문). 따라서 향후 요구 사항을 충족하기 위해 사용자가 쉽고 신속하게 변경 (change) 할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 를 통해 머신은 작동이 용이하며 모듈식 설계를 통해 추가 센서 구성 요소 및 모듈의 측면 로딩 및 통합이 가능합니다. 결론적으로 RUDOLPH/AUGUST WV 320 Mask & Wafer Inspection Asset은 반도체 웨이퍼 검사 및 테스트를위한 올인원 패키지를 제공합니다. 강력한 검사 엔진, 조절 가능한 조명 모듈, 멀티 센서 이미징 (다중 센서 이미징) 이 특징이며, 모듈식 디자인과 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스로 백업됩니다. 강력한 기능을 갖춘 WV320은 반도체 검사를 위한 탁월한 선택입니다.
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