판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST WV320 #293587810

RUDOLPH/AUGUST WV320은 혁신적인 통합 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 시스템은 고정밀 CNC 제어 스캐닝 스테이지에 장착 된 독특한 광학 간섭계 (Optical Interferometer) 기반 검사 헤드로 구성됩니다. 스캔 단계는 컴퓨터가 제어하며 최대 3 개의 독립 축으로 이동할 수 있습니다. 각 축은 헤드를 x, y 및 z 방향으로 최대 5mm까지 변환 할 수 있습니다. 이 장치는 광원, 렌즈, 접안 및 편광 큐브로 구성된 고체 간섭계를 사용합니다. 편광 큐브 (polarization cube) 는 검사 할 마스크 또는 웨이퍼의 표면을 오가는 데 사용됩니다. 표면 에서 반사 되는 빛 은 "렌즈 '에 의해 수집 되어" 이미지' 를 얻을 수 있게 된다. AUGUST WV320 기계는 평평하고 구부러진 웨이퍼와 마스크를 모두 높은 정확도로 검사 할 수 있습니다. 이 도구는 0.25 미크론의 측정 가능한 해상도를 가진 서브 미크론 검사를 위해 설계되었습니다. 검사 속도는 0.5 ~ 3.5 Hz까지 조정할 수 있으며, 검사되는 웨이퍼 또는 마스크 크기에 따라 달라집니다. 에셋은 반올림, 크래킹 (cracking), 치핑 (chipping) 및 측면 벽 고장, 유리 덮개 플레이트의 과도한 마모에 이르기까지 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 모델은 측면 형상, 구멍 크기 및 피치, 마이크로 비아, 트랙, 격자 및 기타 피쳐와 같은 피쳐를 측정 할 수도 있습니다. 장비는 결함 및 기능 측정 외에도 양적 (quantitative) 및 통계적 (statistical) 이진 (binary) 데이터를 모두 제공하는 고유한 용량을 갖습니다. 분산 피쳐 패턴을 평가할 때 특히 유용합니다. 이 시스템은 또한 특수 소프트웨어 (specialized software) 를 갖추고 있어 샘플을 검사할 때 결함 분포 (defect distribution) 및 기타 기능을 감지할 수 있습니다. 또한 자동 교정 루틴을 통해 결함 감지가 빨라집니다. RUDOLPH WV 320 장치는 웨이퍼 및 마스크 응용 프로그램을위한 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 검사 기계입니다. 모든 반도체 응용프로그램에 적합한 해상도로 빠르고, 정확하고, 반복 가능한 결함 감지 (defect detection) 및 기능 측정값을 제공합니다. 검사 도구 내의 소프트웨어는 결함 분포 (defect distribution) 와 복잡한 패턴을 쉽게 식별하는 기능을 추가하여 WV 320은 오늘날 까다로운 반도체 산업에 이상적인 선택이 됩니다.