판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX #293730576

ID: 293730576
Defect inspection system.
RUDOLPH/AUGUST NSX는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기술과 구성 요소를 사용하여 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 가 결함을 정확하게 검사하도록 합니다. 이 장치는 광학 (optical) 및 기계적 (mechanical) 검사를 수행하며 마스크 및 웨이퍼에 필요한 공차와 제한을 부여하도록 특별히 설계되었습니다. 이 기계는 매우 정확하고 민감한 IQA (Autonomous Image Quality Assurance) 도구로 제어되는 Wafer-mounted, Single-photon, Low-Light Detector를 포함한 여러 기술과 구성 요소로 구성됩니다. "검출기 '는 광도 의 아주 작은 변화 를 탐지 할 수 있어서, 자산 이 가장 미세 한 결함 까지도 쉽게 식별 할 수 있다. 또한 AUGUST NSX 는 수많은 다른 기술과 구성요소 (component) 를 사용하여 검사하는 데 필요한 공차 및 한계를 수행할 수 있습니다. 예를 들어, 이 모델은 자동 시각 장비 (automated vision equipment), 맞춤형 로봇 암 (robotic arm) 및 모션 제어 인터페이스 (motion control interface) 의 조합을 사용하여 마스크와 웨이퍼의 피쳐를 정확하게 찾아서 측정합니다. 이렇게 하면 마스크와 웨이퍼 (wafer) 의 피쳐를 정확하게 매핑하고 미리 정해진 공차 (tolerance) 와 제한 (limit) 과 비교할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 비상 정지 장치 (Emergency Stop Mechanism) 와 같은 여러 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있으며, 이는 장치 이상이 발생할 경우 트리거됩니다. 따라서 예기치 않은 오작동이 발생할 경우 시스템을 안전하게 중지할 수 있습니다 (영문). RUDOLPH NSX는 매우 정확하고 신뢰할 수 있습니다. 이 도구는 가장 작은 결함까지도 감지할 수 있습니다. 즉, "마스크 '나" 웨이퍼' 가 감지되지 않은 결함과 함께 배송될 가능성을 최소화합니다. 전반적으로 NSX는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. "마스크 (mask) '와" 웨이퍼' 검사 (wafer inspection) 를 위한 완벽한 모델로, 모든 생산 라인이나 반도체 산업에 이상적이다.
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