판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST NSX 95 #9395555
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ID: 9395555
웨이퍼 크기: 6"-8"
Defect inspection system, 6"-8"
XANDEX 350-0002 Pneumatic die marker controller
Objectives: 1x, 2x, 5x, 10x, 20x
PC.
RUDOLPH/AUGUST NSX 95 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 반도체, 평면 패널 디스플레이, 마이크로 일렉트로닉스 제조에서 마스크와 웨이퍼를 신뢰할 수 있도록 설계된 다용도 고성능 시스템입니다. AUGUST NSX-95 는 토폴로지 (topological) 및 오버레이 (overlay) 결함을 모두 감지할 수 있으며 전체 레이어 검사 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 브라이트필드/듀얼 컬러 브라이트필드/DUV 전송 검사 (brightfield/DUV transmissive inspection) 기술을 사용하며, 이 기술을 통해 사용자는 단일 사이크 웨이퍼뿐만 아니라 단일 사이크 웨이퍼의 토폴로지 및 오버레이 결함을 검사할 수 있습니다. 루돌프 NSX 95 (RUDOLPH NSX 95) 는 고정밀 포지셔닝과 함께 LCD 평면 패널 디스플레이, 마스크 및 웨이퍼를 포함한 TFT 및 LCD 기판의 조합을 사용할 수 있습니다. NSX 95 에는 기존의 자동 초점 및 ASA (Auto-Slack Alignment) 기술이 장착되어 있어 검사 중에 기판을 정확하게 검사할 수 있습니다. 또한 ABC (Automatic Binning Counter) 를 통해 복잡한 결함 피쳐를 기반으로 통계적 검사를 수행하고 자동화된 객체 인식을 허용합니다. 기계의 고감도 경통합 타이밍은 0.1 um 라인 구조를 검사할 수 있으며 여러 zone/substrate/pixel 필드 설정을 지원합니다. 또한 PowerPC 417 및 범용 입/출력 툴이 장착되어 있어 빠르고 정확한 설치/검사 작업을 수행할 수 있습니다. 제공되는 고급 도구로는 Pattern Match Library, 다중 사이트 검사를 위한 MDM (Multi-Defect Monitoring), 결함 식별을위한 True Eye 기술, 중복 결함 차별을위한 True Cog, 고감도 프린터 장애 기록 및 원격 액세스 및 제어를 위한 PC 네트워크 인터페이스 등이 있습니다. 또한, AUGUST NSX 95 마스크 및 웨이퍼 검사 자산에는 유연하고 모듈식 소프트웨어 아키텍처가 포함되어 있어 사용자 친화적인 단계별 작업을 수행할 수 있습니다. 설정 시간을 단축하고 안정적인 데이터 정확성을 제공하는 자동화된 자동화 (Automated Automation) 기능이 포함되어 있습니다. 이 모델의 포괄적인 서비스 오퍼링 및 로컬 지원 (Local Support) 은 일상적인 장비 유지 보수 또는 수리가 필요한 고객을 포괄적으로 지원합니다. 전반적으로 NSX 95 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템은 장애 분석, 품질 관리, 프로세스 제어를 위한 탁월한 툴입니다. 다양한 기판에서 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 의 토폴로지 (Topological) 및 오버레이 (Overlay) 결함을 정확하게 감지할 수 있으며 데이터 분석 및 자동화를 위한 강력한 도구가 장착되어 있습니다. 이 장치는 안정적인 성능, 서비스, 지원을 통해 반도체, 평면 패널 디스플레이, 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) 제조 작업에 적합합니다.
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